[实用新型]坩埚清洗装置

权利要求书

1.一种坩埚清洗装置，其特征在于，

包括灼烧组件(201)、负压吸尘组件(202)以及用于承载并转移回收坩埚的承载输送组件(203)，所述负压吸尘组件(202)设于所述灼烧组件(201)的侧向用于抽吸处于所述灼烧组件(201)外侧的吸附工位上的回收坩埚内的渣质，

所述承载输送组件(203)用于承载回收坩埚并带动承载的回收坩埚在灼烧组件(201)的内腔和吸附工位之间转移，进而使回收坩埚内的渣质在所述灼烧组件(201)的内腔内灼烧形成残渣后在吸附工位被负压吸尘组件(202)抽吸。

2.根据权利要求1所述的坩埚清洗装置，其特征在于，

所述承载输送组件(203)包括承载托盘(2031)和承载旋转驱动机构，所述承载托盘(2031)上设有用于承载回收坩埚的放置孔，所述承载旋转驱动机构用于驱动所述承载托盘(2031)绕其中轴线旋转，

所述灼烧组件(201)一侧的侧壁设有与所述灼烧组件(201)的内腔连通的避让缺口，所述承载托盘(2031)装配于所述灼烧组件(201)的内腔内且所述承载托盘(2031)的部分圆弧段穿过所述避让缺口伸出至所述灼烧组件(201)外，所述承载托盘(2031)绕其中轴线旋转进而带动回收坩埚在灼烧组件(201)的内腔和吸附工位之间转移。

3.根据权利要求1所述的坩埚清洗装置，其特征在于，

所述承载输送组件(203)包括承载板机构和承载输送机构，所述承载板机构固定设于所述承载输送机构上用于支撑定位回收坩埚，

所述灼烧组件(201)一侧的侧壁设有与所述灼烧组件(201)的内腔连通的避让缺口，所述承载输送组件(203)在水平方向上直线往复运动带动所述承载板机构穿过避让缺口伸入至所述灼烧组件(201)的内腔内或者伸出至所述灼烧组件(201)外，进而带动回收坩埚在灼烧组件(201)的内腔和吸附工位之间转移。

4.根据权利要求1至3任一项所述的坩埚清洗装置，其特征在于，

所述灼烧组件(201)采用灰分炉。

5.根据权利要求1至3任一项所述的坩埚清洗装置，其特征在于，

所述负压吸尘组件(202)包括设于所述灼烧组件(201)外侧的吸尘管(2021)和吸尘平移机构(2022)，所述吸尘管(2021)设置在所述吸尘平移机构(2022)上，所述吸尘平移机构(2022)带动所述吸尘管(2021)平移运动以使吸尘管(2021)的吸入端伸入至处于吸附工位上的回收坩埚内。

6.根据权利要求5所述的坩埚清洗装置，其特征在于，

所述吸尘平移机构(2022)包括沿竖向布设的伸缩气缸，所述伸缩气缸的固定端固定设于所述灼烧组件(201)的外壁面上，所述伸缩气缸的伸缩端朝向所述承载输送组件(203)布设，

所述吸尘管(2021)设于所述伸缩气缸的伸缩端上。

7.根据权利要求1至3任一项所述的坩埚清洗装置，其特征在于，

所述坩埚清洗装置包括处于所述灼烧组件(201)的外侧的刮扫工位上的刮扫组件(204)，所述刮扫组件(204)设于所述负压吸尘组件(202)的上游用于刮扫处于刮扫工位上的回收坩埚内的渣质，

所述刮扫组件(204)包括刮扫机构(2041)、用于驱动所述刮扫机构(2041)旋转刮扫的刮扫旋转驱动机构(2042)以及用于驱动所述刮扫旋转驱动机构(2042)移动的刮扫平移机构(2043)，所述刮扫旋转驱动机构(2042)的固定端固定设于所述刮扫平移机构(2043)的活动端上，所述刮扫旋转驱动机构(2042)的旋转轴上设有所述刮扫机构(2041)，进而在所述刮扫平移机构(2043)与所述刮扫机构(2041)的协同作用下使所述刮扫机构(2041)伸入至处于刮扫工位上的回收坩埚内并刮扫回收坩埚内的渣质。