[实用新型]一种用于物理气相沉积机台的磁控阴极结构有效
| 申请号： | 202121746301.0 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN216039797U | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 林先展 | 申请（专利权）人： | 华映科技（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 物理 沉积 机台 阴极 结构 | ||
1.一种用于物理气相沉积机台的磁控阴极结构，其特征在于：其包括阴极背板，阴极背板对应靶材的正面为光滑平面，阴极背板背面内部间隔设置若干冷却液通道，冷却液通道内流通有设定浓度的磁性流体。
2.根据权利要求1所述的一种用于物理气相沉积机台的磁控阴极结构，其特征在于：冷却液通道为U 型通道。
3.根据权利要求1所述的一种用于物理气相沉积机台的磁控阴极结构，其特征在于：冷却液通道的两端分别设置有进液管口和出液管口。
4.根据权利要求3所述的一种用于物理气相沉积机台的磁控阴极结构，其特征在于：进液管口和出液管口的开口位于阴极背板背面。
5.根据权利要求1所述的一种用于物理气相沉积机台的磁控阴极结构，其特征在于：每个冷却液通道内流通不同浓度的磁性流体，或者冷却液通道内流通相同浓度的磁性流体。
6.根据权利要求1所述的一种用于物理气相沉积机台的磁控阴极结构，其特征在于：冷却液通道内的磁性流体的浓度根据对应靶材的溅射磁场强度要求的不同而不同。
7.根据权利要求1所述的一种用于物理气相沉积机台的磁控阴极结构，其特征在于：磁性流体包括基载液、界面活性剂和纳米量级的磁性固体颗粒。
8.根据权利要求7所述的一种用于物理气相沉积机台的磁控阴极结构，其特征在于：磁性固体颗粒采用Ni磁性颗粒、Co磁性颗粒。
9.根据权利要求7所述的一种用于物理气相沉积机台的磁控阴极结构，其特征在于：基载液采用水、有机溶剂、油和冷却液中的一种或者两种以上物质的组合。
10.根据权利要求7所述的一种用于物理气相沉积机台的磁控阴极结构，其特征在于：界面活性剂为油酸。
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