[实用新型]转台微调机构及包括该机构的探针台

权利要求书

1.一种转台微调机构，与转台相连并驱动其转动一定角度，其特征在于，其包括：

直线驱动组件、与所述直线驱动组件相连的旋转组件，所述旋转组件与所述转台相连；

所述直线驱动组件，包括直线驱动器和连接板，所述直线驱动器驱动所述连接板直线运动；

所述旋转组件，包括竖直设置在所述连接板上的旋转轴，设置在所述旋转轴上并绕其旋转的旋转块，所述旋转块与所述转台活动铰接。

2.根据权利要求1所述的一种转台微调机构，其特征在于，还包括滑轨，设置在升降板上并与所述连接板的移动方向平行，所述滑轨上设置有第一滑槽或第二凸台，所述连接板的底面上设置有与所述第一滑槽配合的第一凸台或与所述第二凸台配合的第二滑槽。

3.根据权利要求1或2所述的转台微调机构，其特征在于，所述直线驱动组件包括电机，与所述电机的输出轴相连的滚珠丝杆，套设在所述滚珠丝杆上的滚珠螺母，所述连接板于所述滚珠螺母的上端与其相连。

4.根据权利要求3所述的转台微调机构，其特征在于，所述旋转块的侧面设有第一伸出部，所述转台的侧面设有第二伸出部，所述第一、二伸出部通过竖直方向的铰链机构铰接。

5.根据权利要求4所述的转台微调机构，其特征在于，所述铰链机构包括竖直设置的连接轴，所述第一、二伸出部套设在所述连接轴上，并可绕所述连接轴旋转。

6.根据权利要求5所述的转台微调机构，其特征在于，所述铰链机构还包括两个轴承，套设在所述连接轴上，并与其零间隙或过盈配合；所述第一、二伸出部分别设置在其中一个所述轴承的外侧面上，并与其零间隙或过盈配合；

第二螺母，所述连接轴的第一端设置有端头，第二端设置有螺纹，所述第二螺母设置在所述连接轴的第二端；

在所述两个轴承之间的所述连接轴上还套设有耐磨套。

7.根据权利要求1所述的转台微调机构，其特征在于，所述旋转组件还包括至少一对角接触球轴承，设置在所述旋转轴上，所述旋转块设置在所述角接触球轴承的外圈。

8.根据权利要求2所述的转台微调机构，其特征在于，

所述升降板，其上端面设置有第一凹槽和设置在所述第一凹槽内的第二凹槽；

交叉滚子轴承，设置在第一凹槽内，

压环，设置在第二凹槽内，并与所述交叉滚子轴承内圈的下部零间隙或过盈配合，所述交叉滚子轴承的上端面高于所述压环的上端面但低于所述第一凹槽的上端面设置；

所述转台，其下部的侧面上设置有第一台阶面，所述第一台阶面与所述交叉滚子轴承内圈的上部零间隙或过盈配合。

9.根据权利要求8所述的转台微调机构，其特征在于，

第二台阶面，于所述第一台阶面的上方设置在所述转台的外侧面上；

压块，设置在所述第二台阶面和所述第一凹槽侧壁之间的所述交叉滚子轴承的上端面上。

10.根据权利要求9所述的转台微调机构，其特征在于，还包括：

一旋转感应块，设置在所述转台的侧面，其设置位置对应于所述升降板上标记的原点，所述原点对应于晶圆上芯片的理论切割道；

一光电感应器，设置在所述升降板上标记的原点处，用于感应所述旋转感应块的位置；

一摄像设备，设置在晶圆的上方，用于获取晶圆上芯片的切割道与所述旋转感应块的偏差角度；

工业控制机，接收所述光电感应器感应的所述旋转感应块的位置和所述摄像设备获取的所述偏差角度，并控制所述转台旋转所述偏差角度使晶圆上的芯片切割道对应于所述原点。

11.一种探针台，其特征在于，其包括根据权利要求1至10任一项所述的转台微调机构，转台和水平的升降板，所述转台和所述转台微调机构均设置在所述升降板上，其中所述转台可在所述升降板平面内转动或与所述升降板平面成一定角度的平面内转动。