[实用新型]一种装载装置

权利要求书

1.一种装载装置，其特征在于：包括：

载台(100)；

晶圆盒(200)，其置于所述载台(100)上，并用于装载晶圆(201)；以及

防护罩(300)，其用于围设在所述晶圆盒(200)的外围；

其中，所述防护罩(300)设置在所述载台(100)上，所述防护罩(300)可相对所述载台(100)主动移动，以靠近或远离所述晶圆盒(200)。

2.根据权利要求1所述的装载装置，其特征在于：所述载台(100)内设置有与所述防护罩(300)相接的升降组件(400)，所述升降组件(400)驱动所述防护罩(300)靠近或远离所述晶圆盒(200)。

3.根据权利要求2所述的装载装置，其特征在于：所述升降组件(400)包括驱动电机(41)、与所述驱动电机(41)传动连接的丝杆(42)以及配接在所述丝杆(42)上的丝杆螺母(43)，所述丝杆(42)沿着所述防护罩(300)的移动方向设置，所述丝杆螺母(43)与所述防护罩(300)相接。

4.根据权利要求3所述的装载装置，其特征在于：所述升降组件(400)还包括固定在所述载台(100)上的滑轨(44)和与所述滑轨(44)滑动配接的滑块(45)，所述滑轨(44)沿着所述防护罩(300)的移动方向设置，所述防护罩(300)与所述滑块(45)相接。

5.根据权利要求4所述的装载装置，其特征在于：所述滑轨(44)数量为两根，且分别位于所述丝杆(42)的两侧，所述滑块(45)数量对应为两个。

6.根据权利要求1所述的装载装置，其特征在于：所述防护罩(300)包括防护罩主体(31)，所述防护罩主体(31)包括安装框架(311)和多块透明板(312)，多块所述透明板(312)嵌合在所述安装框架(311)中，以围合形成容置所述晶圆盒(200)的透明腔体。

7.根据权利要求2所述的装载装置，其特征在于：所述防护罩(300)包括：

防护罩主体(31)，其围设在所述晶圆盒(200)外围；以及

传动架(32)，其置于所述载台(100)内，并与所述升降组件(400)相接；

其中，所述载台(100)上设置有沿着所述防护罩(300)移动方向开设的避位槽(101)，所述传动架(32)部分穿过所述避位槽(101)并与所述防护罩主体(31)相接。

8.根据权利要求1所述的装载装置，其特征在于：所述载台(100)的台面(104)上设置有定位所述晶圆盒(200)的定位结构。

9.根据权利要求8所述的装载装置，其特征在于：所述定位结构为设置在所述载台(100)的台面(104)上的多个定位块，所述定位块间配合围成定位所述晶圆盒(200)的定位空间；或者，所述定位结构为开设在所述载台(100)的台面(104)上的定位槽，所述晶圆盒(200)的底部嵌设在所述定位槽内；或者，所述定位结构为凸设在所述载台(100)的台面(104)上的多个固定脚(102)，所述晶圆盒(200)的底部成型有多个与所述固定脚(102)相适配的凹陷部(202)，所述固定脚(102)嵌设在所述凹陷部(202)内。

10.根据权利要求8所述的装载装置，其特征在于：所述晶圆盒(200)包括用于存放不同尺寸的晶圆(201)的第一晶圆盒(200a)和第二晶圆盒(200b)，所述载台(100)的台面上设置有定位所述第一晶圆盒(200a)的第一定位结构以及定位所述第二晶圆盒(200b)的第二定位结构。