[实用新型]一种硅片插片用硅片缓冲装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片插片用硅片缓冲装置，属于硅片插片机领域，包括硅片盒，硅片盒上设有放置槽，放置槽的底部通过压缩弹簧安装有缓冲垫，通过缓冲垫和压缩弹簧，对放置进放置槽内的硅片插片进行缓冲，同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧的弹性形变力，在压缩弹簧反复形变过程中通过空气阻力进行消磨，大大降低硅片插片掉落放置在放置槽时，冲击力对硅片插片的自身影响，通过第一气缸和第二气缸，对硅片插片进行推送集中，减少硅片盒的空间浪费，同时由于盛物板对硅片插片的推送，在送至尽头后，第一气缸先进行回收，通过圆形推板对硅片插片进行支撑，防止在第一气缸回收时，盛物板带动硅片插片一起向回收方向运动，导致硅片插片侧翻。

技术领域

本实用新型涉及硅片插片机领域，更具体地说，涉及一种硅片插片用硅片缓冲装置。

背景技术

硅片由分片机分片之后再由插片机插入放置槽中，在以前的插片过程中，没有硅片缓冲装置，使得硅片插入放置槽时容易和放置槽的内壁碰触，造成崩片、划片等情况，给硅片造成不可恢复的损害，大大降低了硅片的合格率，造成时间和财产的损失，而且放置进放置槽内后，由于放置分散，没有集中手段，导致浪费放置槽大部分空间。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种硅片插片用硅片缓冲装置，通过缓冲垫和压缩弹簧，对放置进放置槽内的硅片插片进行缓冲，同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧的弹性形变力，在压缩弹簧反复形变过程中通过空气阻力进行消磨，大大降低硅片插片掉落放置在放置槽时，冲击力对硅片插片的自身影响，通过盛物板，在对硅片插片进行推送时，避免硅片插片接触缓冲垫并与缓冲垫产生摩擦，导致硅片插片受到摩擦产生损坏，通过第一气缸和第二气缸，对硅片插片进行推送集中，减少硅片盒的空间浪费，同时由于盛物板对硅片插片的推送，在送至尽头后，第一气缸先进行回收，通过圆形推板对硅片插片进行支撑，防止在第一气缸回收时，盛物板带动硅片插片一起向回收方向运动，导致硅片插片侧翻。

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种硅片插片用硅片缓冲装置，包括硅片盒，其特征在于：所述硅片盒上设有放置槽，所述放置槽的底部通过压缩弹簧安装有缓冲垫，所述硅片盒的左侧固定安装有气缸箱，所述气缸箱的内部下端固定安装有第一气缸，所述第一气缸的右侧安装有第一活塞杆，所述第一活塞杆的右侧固定安装有直板，所述直板的底部固定安装有环形推板，所述直板和环形推板的底部固定安装有盛物板，所述气缸箱的内部上端固定安装有第二气缸，所述第二气缸的右侧安装有第二活塞杆，所述第二活塞杆的右侧固定安装有圆形推板，通过缓冲垫和压缩弹簧，对放置进放置槽内的硅片插片进行缓冲，同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧的弹性形变力，在压缩弹簧反复形变过程中通过空气阻力进行消磨，大大降低硅片插片掉落放置在放置槽时，冲击力对硅片插片的自身影响。

进一步的，所述盛物板为直角三角形形状的薄板，所述盛物板的底面紧贴缓冲垫的上表面，所述盛物板的上表面固定安装有第一海绵橡胶垫，通过盛物板，在对硅片插片进行推送时，避免硅片插片接触缓冲垫并与缓冲垫产生摩擦，导致硅片插片受到摩擦产生损坏。

进一步的，所述放置槽为半圆柱形放置槽，所述直板的长度大于放置槽的半径，通过直板，防止硅片插片推送时，由于硅片插片的自身重心和惯性，导致硅片插片发生侧翻引起损坏。

进一步的，所述第一气缸和第二气缸为相同一样的同种气缸，通过第一气缸和第二气缸，对硅片插片进行推送集中，减少硅片盒的空间浪费，同时由于盛物板对硅片插片的推送，在送至尽头后，第一气缸先进行回收，通过圆形推板对硅片插片进行支撑，防止在第一气缸回收时，盛物板带动硅片插片一起向回收方向运动，导致硅片插片侧翻。

进一步的，所述圆形推板的右侧固定安装有第二海绵橡胶垫，通过第二海绵橡胶垫，降低圆形推板与硅片插片接触面之间的摩擦损伤。

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：