[实用新型]一种微机电集成化精巧型压力传感器

权利要求书

1.一种微机电集成化精巧型压力传感器，其特征在于，包括：

玻璃底座(1)，所述玻璃底座(1)的顶部设置有压力传感器本体(7)；

支撑机构(3)，所述支撑机构(3)共设置有三组，每组所述支撑机构(3)均包括立杆(301)、移动盘(302)、支撑弹簧(303)、固定筒(307)和三个支撑杆(304)，所述固定筒(307)的顶部均开设有滑动槽(306)，所述移动盘(302)均固定连接于立杆(301)的底部，所述立杆(301)均滑动嵌设于滑动槽(306)的内壁之间，三个所述支撑杆(304)均固定连接于滑动槽(306)的上下内壁之间，所述支撑弹簧(303)均固定连接于移动盘(302)与滑动槽(306)之间。

2.根据权利要求1所述的一种微机电集成化精巧型压力传感器，其特征在于：所述玻璃底座(1)的外表面固定连接有外壳(2)，所述外壳(2)的内壁设置有硅油填充层(5)。

3.根据权利要求2所述的一种微机电集成化精巧型压力传感器，其特征在于：所述外壳(2)的内壁之间靠近顶部处固定连接有金属膜片(4)，且金属膜片(4)的底部与硅油填充层(5)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种微机电集成化精巧型压力传感器，其特征在于：所述压力传感器本体(7)的顶部固定连接有两个引脚(6)，两个所述引脚(6)的底端均延伸至玻璃底座(1)的下方。

5.根据权利要求1所述的一种微机电集成化精巧型压力传感器，其特征在于：每组三个所述支撑杆(304)的外表面均套设有固定弹簧(305)，每组三个所述固定弹簧(305)分别设置于移动盘(302)与滑动槽(306)之间。

6.根据权利要求1所述的一种微机电集成化精巧型压力传感器，其特征在于：每组所述固定筒(307)的底部均黏合设置有橡胶块(308)。