[实用新型]遮蔽装置以及PVD真空镀膜设备

说明书

本实用新型公开了遮蔽装置以及PVD真空镀膜设备，其中遮蔽装置设置在PVD真空镀膜设备的镀膜腔内，包括：至少一个安装件，在所述镀膜腔内被固定，所述安装件上设置有第一槽部；至少一个遮蔽板，所述遮蔽板可滑动地插入所述第一槽部内并被所述第一槽部保持，或者从所述第一槽部内被抽出。根据本实用新型第一方面的遮蔽装置，至少具有如下有益效果：能够快速拆装遮蔽板。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及遮蔽装置以及PVD真空镀膜设备。

背景技术

在太阳能电池硅片生产过程中，PVD(物理气相沉积，Physical VaporDeposition)作为太阳能硅片生产过产中的一种重要镀膜工艺，一般在密闭真空腔室中进行。通过PVD工艺将靶材沉积到太阳能硅片上的过程中通常称之为PVD镀膜工艺。在镀膜工艺过程中，需要控制靶材材料在真空腔室内沉积镀膜的范围。此外，需要对不用镀膜的空间进行遮避，以防止真空腔室及真空腔室内的重要零部件被沉积物质。

现有技术当中，通常在需要保护的区域安装遮避装置，装遮装置能够有效地吸附靶材升华的粒子物质，形成非镀膜的保护区域。随着生产的进行，遮蔽装置的遮蔽板上沉积物不断增加，这些沉积物容易脱落，影响镀膜工艺的进行。因此，需要定期对遮蔽装置进行清理。现有技术的遮蔽装置通常通过螺栓锁紧。由于螺栓也可能沉积这些沉积物，这会导致遮蔽装置难以拆卸。

实用新型内容

本实用新型旨在至少一定程度上解决现有技术存在的问题之一。为此，本实用新型提出了一种遮蔽装置，能够快速拆装遮蔽板。此外，本实用新型还提出了使用这种遮蔽装置的PVD真空镀膜设备。

根据本实用新型第一方面的遮蔽装置，设置在PVD真空镀膜设备的镀膜腔内，包括：至少一个安装件，在所述镀膜腔内被固定，所述安装件上设置有第一槽部；至少一个遮蔽板，所述遮蔽板可滑动地插入所述第一槽部内并被所述第一槽部保持，或者从所述第一槽部内被抽出。

根据本实用新型第一方面的遮蔽装置，至少具有如下有益效果：能够快速拆装遮蔽板。

在一些实施例中，所述安装件包括两个，其中一个所述安装件固定到所述镀膜腔的第一内壁上，另一个所述安装件固定到所述镀膜腔的与所述第一内壁相对的第二内壁上。

在一些实施例中，所述安装件包括两个，其中一个所述安装件固定到所述镀膜腔的第一内壁上，另一个所述安装件固定到所述镀膜腔的与所述第一内壁相邻的第三内壁上。

在一些实施例中，所述第一槽部沿水平方向延伸。

在一些实施例中，所述安装件上还设置有沿竖直方向延伸的第二槽部，所述遮蔽板包括两块，其中一块插入所述第一槽部内，另一块插入所述第二槽部内。

在一些实施例中，所述遮蔽板上设置有阻挡件，所述阻挡件限制所述遮蔽板插入到所述第一槽部内的深度。

在一些实施例中，所述遮蔽板上还设置有把手。

在一些实施例中，所述第一槽部内设置有第一卡合部，所述遮蔽板上设置有第二卡合部，在所述遮蔽板插入所述第一槽部内的状态下，所述第一卡合部和所述第二卡合部卡合。

根据本实用新型第二方面的遮蔽装置，设置在PVD真空镀膜设备的镀膜腔内，包括：至少一个安装件，在所述镀膜腔内被固定；至少一个遮蔽板，所述遮蔽板上设置有第一槽部，所述第一槽部可滑动地套嵌在所述安装件上并被保持在所述安装件上，或者从所述安装件被抽出。

根据本实用新型第二方面的遮蔽装置，至少具有如下有益效果：能够快速拆装遮蔽板。

根据本实用新型第三方面的PVD真空镀膜设备，包括上述任一项的遮蔽装置。

附图说明

图1是具有本实用新型的遮蔽装置的PVD真空镀膜设备的一种实施例的示意图。