[实用新型]芯片外观检测机构有效
| 申请号: | 202121301484.5 | 申请日: | 2021-06-10 |
| 公开(公告)号: | CN216284954U | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
| 发明(设计)人: | 陈子超;高聪;曹明阳 | 申请(专利权)人: | 杭州长川科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01B11/00;G01N21/956;G01N21/01 |
| 代理公司: | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人: | 孙洁轩 |
| 地址: | 310051 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 芯片 外观 检测 机构 | ||
本实用新型涉及芯片检测技术领域,特别是涉及一种芯片外观检测机构。该芯片外观检测机构包括基座、第一驱动组件、光源升降组件、光源组件、第二驱动组件、相机以及相机升降组件;第一驱动组件安装于基座,光源升降组件与第一驱动组件连接,光源组件安装于光源升降组件,第二驱动组件安装于基座,相机升降组件与第二驱动组件连接,相机安装于相机升降组件;当相机检测到不满足芯片外观检测条件时,第一驱动组件能够带动光源升降组件运动,以调节光源组件的高度;及/或,第二驱动组件能够带动相机升降组件运动,以调节相机的高度。本实用新型的优点在于:能够进行自动化调节、适应性强、结构简单、通用性好且成本低。
技术领域
本实用新型涉及芯片检测技术领域,特别是涉及一种芯片外观检测机构。
背景技术
在芯片检测过程中,需要采用芯片检测设备对芯片进行拍照检测,以方便下一工序的检测工作。
但在现有芯片检测设备中,光源的照明高度以及相机的拍摄高度均需要手动进行调节,芯片检测设备难以根据不同的芯片产品或检测位置进行适应性的位置调整,应用灵活性差、通用性差,导致芯片的检测效率降低。
有些芯片检测设备的光源调节能够通过调节摄像头的景深达到不同检测效果,但这种自动调焦镜头因为本身结构过于复杂,会导致成本过高,并且运动速度较慢。
实用新型内容
有鉴于此,针对上述技术问题,有必要提供一种能够进行自动化调节、适应性强、结构简单、通用性好且成本低的芯片外观检测机构。
为解决上述技术问题,本申请提供如下技术方案:
本申请提供一种芯片外观检测机构,包括基座、第一驱动组件、光源升降组件、光源组件、第二驱动组件、相机以及相机升降组件;所述第一驱动组件及所述第二驱动组件分别安装于所述基座,所述光源升降组件与所述第一驱动组件连接,所述光源组件安装于所述光源升降组件,所述相机升降组件与所述第二驱动组件连接,所述相机安装于所述相机升降组件;
当所述相机检测到不满足芯片外观检测条件时,所述第一驱动组件能够带动所述光源升降组件运动,以调节所述光源组件的高度;
及/或,当所述相机检测到不满足芯片外观检测条件时,所述第二驱动组件能够带动所述相机升降组件运动,以调节所述相机的高度。
在本申请中,通过设置第一驱动组件驱动光源升降组件运动,光源升降组件带动光源组件运动,设置第二驱动组件驱动相机升降组件运动,相机升降组件带动相机运动;当相机检测到不满足芯片外观检测条件时,如焦距和景深不匹配时,相机会将高度信息反馈到处理台,使与处理台连接的控制系统能够对第一驱动组件发出脉冲指令,控制第一驱动组件运动,使第一驱动组件带动光源升降组件运动,以调节光源组件的位置至合适的照明高度;同时,第二驱动组件带动相机升降组件运动,以调节相机的位置至合适的芯片检测高度,从而使芯片外观检测机构进行实时反馈的自动化调节检测,适应性强,能够解决光照明暗不均匀、拍摄存在黑图的问题,提高检测效率。
在其中一个实施例中,所述第一驱动组件包括第一电机及第一传动单元,所述光源升降组件与所述第一传动单元连接,所述第一电机能够驱动所述第一传动单元运动,以使所述第一传动单元带动所述光源升降组件运动;及/或,所述第二驱动组件包括第二电机及第二传动单元,所述相机升降组件与所述第二传动单元连接,所述第二电机能够驱动所述第二传动单元运动,以使所述第二传动单元带动所述相机升降组件运动。
如此设置,当相机检测到不满足芯片外观检测条件时,相机会将高度信息反馈到处理台,使与处理台连接的控制系统能够对第一电机、第二电机发出脉冲指令,使第一电机驱动第一传动单元运动,第二电机驱动第二传动单元运动,通过控制系统的指令,能够使芯片外观检测机构在自动化检测的过程中实现检测高度和光源照射的自适应调节。
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