[实用新型]薄膜静电吸附测试机构

权利要求书

1.一种薄膜静电吸附测试机构，包括吸附测试机座(1)，其特征在于，所述的吸附测试机座(1)上设有薄膜安置平台(2)，所述的薄膜安置平台(2)上设有多工位测试固定组件(3)，所述的薄膜安置平台(2)上方设有可沿竖直方向往复直线运动的静电测试件(4)，所述的静电测试件(4)与多工位测试固定组件(3)的位置相对应，所述的吸附测试机座(1)上还设若干沿吸附测试机座(1)上中心线对称的导向定位柱(5)，所述的静电测试件(4)与导向定位柱(5)相滑动配合。

2.根据权利要求1所述的薄膜静电吸附测试机构，其特征在于，所述的多工位测试固定组件(3)包括若干设置于吸附测试机座(1)上的薄膜前端固定块(6)和薄膜后端固定块(7)，所述的薄膜前端固定块(6)和薄膜后端固定块(7)分别与静电测试件(4)的位置相对应，所述的吸附测试机座(1)上还设有侧部固定部(8)，所述的薄膜前端固定块(6)和薄膜后端固定块(7)分别与侧部固定部(8)的位置相对应。

3.根据权利要求2所述的薄膜静电吸附测试机构，其特征在于，所述的侧部固定部(8)包括设置于吸附测试机座(1)上的薄膜侧部固定块(9)，所述的薄膜侧部固定块(9)位于薄膜前端固定块(6)和薄膜后端固定块(7)之间。

4.根据权利要求3所述的薄膜静电吸附测试机构，其特征在于，所述的薄膜前端固定块(6)和薄膜后端固定块(7)相互平行，所述的薄膜前端固定块(6)的中心线与薄膜侧部固定块(9)的中心线相互垂直，所述的薄膜后端固定块(7)的中心线与薄膜侧部固定块(9)的中心线相互垂直。

5.根据权利要求4所述的薄膜静电吸附测试机构，其特征在于，所述的静电测试件(4)位于薄膜前端固定块(6)和薄膜后端固定块(7)的正上方，所述的导向定位柱(5)位于静电测试件(4)的下方。

6.根据权利要求5所述的薄膜静电吸附测试机构，其特征在于，所述的静电测试件(4)包括若干设置于薄膜安置平台(2)上方的升降固定板(10)，所述的升降固定板(10)底部设有若干沿升降固定板(10)中心线对称的静电测试吸盘(11)，所述的薄膜前端固定块(6)和薄膜后端固定块(7)分别与静电测试吸盘(11)的位置相对应。

7.根据权利要求6所述的薄膜静电吸附测试机构，其特征在于，所述的静电测试吸盘(11)与升降固定板(10)之间通过弹性连接杆(12)相连，所述的弹性连接杆(12)上套设有弹簧。

8.根据权利要求7所述的薄膜静电吸附测试机构，其特征在于，所述的升降固定板(10)上方设有顶部固定台(13)，所述的顶部固定台(13)上设有若干直线驱动器，所述的直线驱动器的动力轴与升降固定板(10)相连。

9.根据权利要求8所述的薄膜静电吸附测试机构，其特征在于，所述的吸附测试机座(1)上设有若干沿吸附测试机座(1)中心线对称的导向柱固定架板(14)，所述的导向柱固定架板(14)与导向定位柱(5)相连。

10.根据权利要求9所述的薄膜静电吸附测试机构，其特征在于，所述的升降固定板(10)内设有若干沿升降固定板(10)中心线对称的导向柱定位孔(15)，所述的导向定位柱(5)与导向柱定位孔(15)的位置相对应且形状相配适。