[实用新型]一种真空炉用抽真空装置

说明书

本实用新型公开了一种真空炉用抽真空装置，包括固定架，真空炉体，炉盖，方箱，真空泵，第一过滤装置和第二过滤装置，该固定架上固定安装有真空炉本体和方箱，该真空炉上固定连接有炉盖，该炉盖上固定连接有排气管道，该方箱内固定安装有第一过滤装置和真空泵，该排气管道远离炉盖的一端固定连接有第一过滤装置，该第一过滤装置与真空泵的输入端固定连接，该真空泵的输出端固定连接有第二过滤装置，本实用新型通过第一过滤装置对真空炉内抽出的空气进行第一步粉尘过滤，可以防止粉尘进入到真空泵，提高了真空泵的使用寿命，再通过第二过滤装置对真空泵排出的空气进行第二步的过滤，防止真空泵抽离的空气中存在有害气体，保证了工作环境的安全性。

技术领域

本实用新型涉及一种抽真空领域，特别涉及一种真空炉用抽真空装置。

背景技术

真空气相沉积炉在工作时，需要对炉体内进行抽真空处理，但是重复工作时，炉体内会存在一定的粉尘和有害气体，直接通过真空泵进行抽真空，然后排出，不仅污染了工作环境，同时粉尘会降低真空泵的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供了一种真空炉用抽真空装置，通过第一过滤装置对真空炉内抽出的空气进行第一步粉尘过滤，可以防止粉尘进入到真空泵，提高了真空泵的使用寿命，再通过第二过滤装置对真空泵排出的空气进行第二步的过滤，防止真空泵抽离的空气中存在有害气体，保证了工作环境的安全性。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种真空炉用抽真空装置，包括固定架，真空炉体，炉盖，方箱，真空泵，第一过滤装置和第二过滤装置，该固定架上固定安装有真空炉本体和方箱，该真空炉上固定连接有炉盖，该炉盖上固定连接有排气管道，该方箱内固定安装有第一过滤装置和真空泵，该排气管道远离炉盖的一端固定连接有第一过滤装置，该第一过滤装置与真空泵的输入端固定连接，该真空泵的输出端固定连接有第二过滤装置。

进一步的，所述第一过滤装置包括外壳体，第一过滤层，第二过滤层，第三过滤层和防尘过滤罩，该第一过滤层，第二过滤层，第三过滤层和防尘过滤罩均固定安装在外壳体内，该外壳体上端面固定开设有入气口，该外壳体下端固定开设有出气口，该第一过滤层，第二过滤层和第三过滤层固定安装在入气口和出气口之间，该出气口上固定罩设有防尘过滤罩。

进一步的，所述第二过滤装置包括过滤罐，入气管道，分离网板和固定隔离架，该过滤罐的一端上端面固定开设有连接孔，该连接孔内连接有入气管道，该过滤罐上固定开设有介质入口和排放口，该排放口处的过滤罐内固定安装有固定隔离架，该固定隔离架与过滤罐下端内壁之间固定设有分离网板。

进一步的，所述入气管道穿过分离网板置于分离网板下端，该入气管道置于分离网板下端的部分上固定开设有若干排气孔。

更进一步的，所述分离网板包括外框架和固定安装在外框架内壁的耐腐蚀分离网。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过第一过滤装置对真空炉内抽出的空气进行第一步粉尘过滤，可以防止粉尘进入到真空泵，提高了真空泵的使用寿命，再通过第二过滤装置对真空泵排出的空气进行第二步的过滤，防止真空泵抽离的空气中存在有害气体，保证了工作环境的安全性。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的方箱内部结构图；

图3为本实用新型的第二过滤装置剖视图。

附图标记