[实用新型]一种排片机结构有效
| 申请号: | 202121223862.2 | 申请日: | 2021-06-02 |
| 公开(公告)号: | CN214588783U | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
| 发明(设计)人: | 周强;赖礼泮;刘常涛;李莹;达奕心;刘钦来;陈肇星 | 申请(专利权)人: | 福州理工学院 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 唐燕玲 |
| 地址: | 350000 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 排片机 结构 | ||
1.一种排片机结构,其特征在于,包括工作台,布置于工作台上的XY轴移动载台以及与所述XY轴移动载台连接的排片装置;
所述排片装置包括壳体、支撑板、弹簧、转轴、驱动辊和电机;
所述壳体包括倾斜连接且相互连通的第一部分和第二部分;
所述第一部分的下端为开口;
所述第二部分的上端为开口,所述支撑板设置于所述第二部分内,所述支撑板与所述第二部分的底面相平行,所述支撑板用于承载多个片状物;
所述弹簧的一端连接所述支撑板,另一端连接所述第二部分的底面,并带动所述支撑板朝向所述第二部分的上端开口处移动;
所述转轴的轴向两端分别连接所述第二部分的相对面上并位于所述支撑板的上方,所述转轴的轴向上设置有驱动辊,所述驱动辊与所述转轴同步转动,所述驱动辊的轴向一端连接所述电机的电机轴。
2.根据权利要求1所述排片机结构,其特征在于,所述第二部分的相对面上分别设置有沿所述第二部分长度方向延伸的横梁,所述横梁的下表面为向下倾斜的斜面,两个的所述横梁的相对面为竖直设置的平面。
3.根据权利要求2所述排片机结构,其特征在于,还包括挡板,所述挡板设置于所述第一部分和第二部分之间,所述挡板的上端与所述横梁的间距大于所述片状物的厚度。
4.根据权利要求1所述排片机结构,其特征在于,所述驱动辊的表面轴向间隔布置有多个凸条,多个的所述凸条具有弹性。
5.根据权利要求1所述排片机结构,其特征在于,所述第一部分的每个侧壁的内侧面均为向下倾斜的斜面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





