[实用新型]一种DMD投影模组检测装置及系统

说明书

本实用新型公开了一种DMD投影模组检测装置，包括工作台、旋转平台、功率计、CCD相机以及白板，旋转平台转动安装于工作台，功率计、CCD相机以及白板分别固定于旋转平台，功率计的测试面、CCD相机的焦面以及白板的表面位于同一水平高度，DMD投影模组检测装置集成了CCD相机、白板以及功率计，光斑检验过程中只需要使旋转平台相对工作台转动，就能实现光斑调节以及检测，无需切换设备。本实用新型还涉及包含上述DMD投影模组检测装置的DMD投影模组检测系统。

技术领域

本实用新型涉及光学检测装置，尤其是涉及一种DMD投影模组检测装置。

背景技术

在曝光与投影技术中，光斑的成像质量、分辨率、转换效率以及光斑的对焦效果是非常重要的质量指标，因此对光斑进行上述检验是必不可缺的过程。现有的检验方法一般都使用CCD相机来查看光斑成像质量、分辨率。在实际生产过程中，光斑在检验之前还必须经过调节对焦、调节光斑大小等步骤，需要一个白板调节平台，光斑在检验成像质量后还需要用功率计测出投影系统的转换效率(及光斑功率与光纤出光功率的百分比)。

因此光斑的检验过程需要三种设备切换，在实际操作中，不仅给测试者带来了很大的不便，而且在切换过程中会存在焦面不一致的情况，从而导致测试结果的细微偏差。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的之一在于提供一种集成了CCD相机、白板以及功率计的DMD投影模组检测装置，使光斑检验过程中无需切换设备，测试结果更加精确。

本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现：

一种DMD投影模组检测装置，包括工作台、旋转平台、功率计、CCD相机以及白板，所述旋转平台转动安装于所述工作台，所述功率计、所述CCD相机以及所述白板分别固定于所述旋转平台，所述功率计的测试面、所述CCD相机的焦面以及所述白板的表面位于同一水平高度。

进一步地，所述功率计、所述CCD相机以及所述白板与所述旋转平台的转动中心的距离相等。

进一步地，所述旋转平台通过滑轨滑动安装于所述工作台，所述旋转平台能够相对所述工作台滑动调节相对位置。

进一步地，所述滑轨包括X轨道以及Y轨道，所述Y轨道安装于所述X轨道，使所述旋转平台能够相对所述工作台在X方向以及Y方向移动。

进一步地，所述滑轨包括Z轨道，所述Z轨道安装于所述Y轨道，使所述旋转平台能够相对所述工作台调节高度。

本实用新型的目的之二采用如下技术方案实现：

一种DMD投影模组检测系统，包括DMD芯片、投影镜头以及工作台，所述DMD投影模组检测装置还包括旋转平台、功率计、CCD相机以及白板，所述旋转平台转动安装于所述工作台，所述功率计、所述CCD相机以及所述白板分别固定于所述旋转平台，所述功率计的测试面、所述CCD相机的焦面以及所述白板的表面位于同一水平高度，所述DMD芯片以及所述投影镜头位于所述旋转平台上方。

进一步地，所述DMD芯片以及所述投影镜头的连线与所述旋转平台的转轴位于不同直线。

进一步地，所述功率计、所述CCD相机以及所述白板与所述旋转平台的转动中心的距离相等。

进一步地，所述旋转平台通过滑轨滑动安装于所述工作台，所述旋转平台能够相对所述工作台滑动调节相对位置。

相比现有技术，本实用新型DMD投影模组检测装置集成了CCD相机、白板以及功率计，光斑检验过程中只需要使旋转平台相对工作台转动，就能实现光斑调节以及检测，无需切换设备。

附图说明

图1为本实用新型DMD投影模组检测装置的使用示意图。