[实用新型]一种盖板及石英加料装置

说明书

本实用新型公开一种盖板及石英加料装置，盖板用于盖在石英加料筒的加料口上，盖板包括对接的至少两个盖板单元，所述盖板单元包括面板以及设于所述面板下方的限位部；所述面板包括内侧壁以及设于所述内侧壁的外围并和所述内侧壁连接的外侧壁，所述内侧壁上开设有第一避让槽，各个所述盖板单元的所述第一避让槽拼接成用于避让所述石英加料筒中钼杆的槽孔；所述限位部限位在所述石英加料筒的侧壁上。通过盖板可以避免污染物对石英加料筒内部硅料的污染，从而提高硅片的电学性能。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种盖板及石英加料装置。

背景技术

单晶硅生长炉是生产单晶硅的拉晶装置，但通过单次加料使石英坩埚的装硅料量接近容量是难以实现的，因此，目前采用单晶炉生产硅棒时普遍会通过石英加料器进行多次复投，以提高单机的产能来降低生产成本。石英加料器一般由以下部件构成：石英加料筒、石英法兰、设于石英加料筒上方的不锈钢法兰盘、设于石英加料筒内的钼杆，与钼杆连接的石英锥，以及连接于法兰盘和石英锥之间的不锈钢连杆等部件组成。现有的石英加料筒多为敞口设计，加料后硅料会裸露在空气中，由于空气中含有大量的金属离子以及各类化合物等污染物，这些污染物落入石英筒内会对原料造成污染，目前尚无合理的装置来解决石英加料器内部处于裸露状态而造成污染的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的之一在于克服现有技术中所述的缺陷，从而提供一种盖板，该盖板可以避免空气中的污染物对加料器内部硅料的污染，从而提高硅片的电学性能。

本实用新型的另一目的在于提供一种石英加料装置，该石英加料装置包括所述的盖板，可以解决石英加料器的开口长期开放所造成的空气中的金属离子以及各类化合物等污染硅料的风险。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种盖板，用于盖在石英加料筒的加料口上，所述盖板包括对接的至少两个盖板单元，所述盖板单元包括面板以及设于所述面板下方的限位部；

所述面板包括内侧壁以及设于所述内侧壁的外围并和所述内侧壁连接的外侧壁，所述内侧壁上开设有第一避让槽，各个所述盖板单元的所述第一避让槽拼接成用于避让所述石英加料筒中钼杆的槽孔；

所述限位部限位在所述石英加料筒的侧壁上。

作为一种可实施的方式，所述面板的至少部分遮盖所述加料口的顶壁。

作为一种可实施的方式，所述盖板由两个对开的所述盖板单元组成，每个所述盖板单元的面板均呈半圆形。

作为一种可实施的方式，各个所述盖板单元的限位部拼接形成限位环，所述限位环与所述石英加料筒的内侧壁间隙配合。

作为一种可实施的方式，所述石英加料筒的顶壁设有螺杆，所述面板的外侧壁上开设有避让所述螺杆的第二避让槽。

作为一种可实施的方式，所述石英加料筒还包括设于所述加料口的顶部的导向板，所述面板的外侧壁与所述内侧壁的交接处开设有第三避让槽，相邻的两个所述第三避让槽配合避让所述导向板。

作为一种可实施的方式，相邻的两个所述第三避让槽配合形成长方形槽。

作为一种可实施的方式，所述盖板单元的材质为聚四氟乙烯。

一种石英加料装置，包括：

石英加料筒；

钼杆，设于所述石英加料筒内；以及

上述提及的任一种所述的盖板，所述盖板的槽孔穿过所述钼杆，所述盖板的限位部限位于所述石英加料筒的侧壁上。

作为一种可实施的方式，所述加料口的上方还安装有导向板，所述导向板的两端分别穿过位于所述盖板两侧的第三避让槽而固定于所述石英加料筒的侧壁上，用于在径向上对所述钼杆进行限位。