[实用新型]一种极紫外辐照损伤测试设备

说明书

本实用新型提出一种极紫外辐照损伤测试设备，包括测试箱，测试箱内设有安装机构、折射机构以及极紫外辐照机构，安装机构包括伸缩杆，伸缩杆的一端设有推板，推板的一侧设有轴承，轴承的内环设有直杆，直杆的一端设有置物板，置物板的表面设有限位组件，折射机构包括转轴，转轴的一端贯穿测试箱，在转轴的自由末端设有电机，转轴的另一端设有折射组件。本实用新型提出的极紫外辐照损伤测试设备，在每次进行检测时，待检测物均为放入至测试箱的内部进行检测，有效避免了极紫外辐照泄露而对测试人员所造成的损伤，保证了测试时的安全性。

技术领域

本实用新型涉及材料性能测试的技术领域，具体为一种极紫外辐照损伤测试设备。

背景技术

极紫外光刻技术是继193nm浸没式光刻技术之后的下一代光刻机技术，由于极紫外辐射可被几乎所有物质(包括空气)强烈吸收，因此EUV光刻机系统必须置于真空环境中。EUV光刻机系统内部各关键部件所用的材料需确保在EUV辐照及真空环境下，且不具有EUV辐照损伤的有害特性。而某些材料在EUV辐照作用下会产生辐照损伤腐蚀，因此需要一种极紫外辐照损伤测试设备。

现有专利(申请号为：201320454021.1)提出一种紫外辐照损伤测试设备，包括EUV光源室、滤波片室、收集镜室、光谱检测室以及样品室。其中EUV光源室用于容纳EUV光源，EUV光源用于辐射出宽谱近软X射线；滤波片室用于放置滤波片，该滤波片用于将宽谱近软X射线滤波成窄谱EUV辐照；收集镜室用于放置收集镜，该收集镜用于将EUV辐照汇聚到样品室中；光谱检测室用于安装一个反射镜和一个光谱仪，反射镜用于将来自收集镜室的EUV辐照反射到所述光谱仪；样品室中具有一个三维平移台，其用于安装样品、CCD和能量计，并且能够使样品、CCD和能量计轮流移动至能够接受EUV辐照的同一位置。

然而，现有的部分极紫外辐照损伤测试设备，由于结构设置不够合理，在将待检测物放入装置内部进行检测时，有可能发生极紫外泄露而对人体产生伤害的问题。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的在于提出一种极紫外辐照损伤测试设备，用以解决上述背景技术中提出的技术问题。

本实用新型提出一种极紫外辐照损伤测试设备，包括测试箱，所述测试箱内设有安装机构、折射机构以及极紫外辐照机构；

所述安装机构包括伸缩杆，所述伸缩杆的一端设有推板，所述推板的一侧设有轴承，所述轴承的内环设有直杆，所述直杆的一端设有置物板，所述置物板的表面设有限位组件；

所述折射机构包括转轴，所述转轴的一端贯穿所述测试箱，在所述转轴的自由末端设有电机，所述转轴的另一端设有折射组件。

优选的，所述限位组件包括阻尼合页，所述阻尼合页的两侧设有卡块，所述阻尼合页通过扭转弹簧与卡块活动连接。在本优选实施例中，通过阻尼合页、卡块以及扭转弹簧，可将待检测物进行限位固定。

优选的，所述折射组件包括折射镜，所述折射镜的两侧设有保护块，所述保护块的一侧设有透光通孔。在本优选实施例中，通过折射镜、保护块以及透光通孔，可将极紫外辐照机构发射的极紫外辐照进行折射，同时可实现对折射镜进行保护的作用，尽可能避免折射镜发生破裂的问题。

优选的，所述测试箱的顶部设有水箱，所述水箱的底部设有导管，所述导管的一端贯穿测试箱设有电动喷头，所述电动喷头的表面等分设有多个喷孔。在本优选实施例中，通过水箱、导管、电动喷头以及喷孔，可有效应对测试箱内的测试物发生燃烧的问题。

优选的，所述置物板的一侧设有把手，所述测试箱的一侧设有活动口。在本优选实施例中，通过把手和活动口，可方便将置物板取出。

优选的，所述测试箱的一侧设有控制面板，所述控制面板通过导线与极紫外辐照机构、伸缩杆、电机以及电动喷头之间呈电性连接。在本优选实施例中，通过控制面板可对整体装置进行控制。