[实用新型]一种极紫外辐照损伤测试设备

权利要求书

1.一种极紫外辐照损伤测试设备，包括测试箱(1)，其特征在于，所述测试箱(1)内设有安装机构(2)、折射机构(3)以及极紫外辐照机构(4)；

所述安装机构(2)包括伸缩杆(21)，所述伸缩杆(21)的一端设有推板(22)，所述推板(22)的一侧设有轴承(23)，所述轴承(23)的内环设有直杆(24)，所述直杆(24)的一端设有置物板(25)，所述置物板(25)的表面设有限位组件(26)；

所述折射机构(3)包括转轴(31)，所述转轴(31)的一端贯穿所述测试箱(1)，在所述转轴(31)的自由末端设有电机(5)，所述转轴(31)的另一端设有折射组件(32)。

2.根据权利要求1所述的一种极紫外辐照损伤测试设备，其特征在于，所述限位组件(26)包括阻尼合页(261)，所述阻尼合页(261)的两侧设有卡块(263)，所述阻尼合页(261)通过扭转弹簧(262)与卡块(263)活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种极紫外辐照损伤测试设备，其特征在于，所述折射组件(32)包括折射镜(321)，所述折射镜(321)的两侧分别设有保护块(322)，所述保护块(322)的一侧设有透光通孔(323)。

4.根据权利要求1所述的一种极紫外辐照损伤测试设备，其特征在于，所述测试箱(1)的顶部设有水箱(6)，所述水箱(6)的底部设有导管(61)，所述导管(61)的一端贯穿测试箱(1)设有电动喷头(62)，所述电动喷头(62)的表面等分设有多个喷孔(63)。

5.根据权利要求1所述的一种极紫外辐照损伤测试设备，其特征在于，所述置物板(25)的一侧设有把手(251)，所述测试箱(1)的一侧设有活动口(10)。

6.根据权利要求1所述的一种极紫外辐照损伤测试设备，其特征在于，所述测试箱(1)的一侧设有控制面板(7)，所述控制面板(7)通过导线与极紫外辐照机构(4)、伸缩杆(21)、电机(5)以及电动喷头(62)之间呈电性连接。

7.根据权利要求1所述的一种极紫外辐照损伤测试设备，其特征在于，所述测试箱(1)的底部设有固定架(8)。