[实用新型]一种基于腔增强的单光路痕量气体在线检测装置

权利要求书

1.一种基于腔增强的单光路痕量气体在线检测装置，其特征在于：该装置包括信号发生器(10)、激光驱动器(20)、可调谐半导体激光器(30)、光束耦合器(40)、光学球形腔(50)、光电探测器(60)、锁相放大器(70)以及上位机(80)；

所述信号发生器(10)的信号发生端与激光驱动器(20)的输入端相连，激光驱动器(20)的输出端与可调谐半导体激光器(30)的输入控制端相连；光束耦合器(40)将可调谐半导体激光器(30)发出的激光引入光学球形腔(50)，以及将反射后的光引出光学球形腔(50)；光学球形腔(50)上设有气体入口(51)与出口(52)，腔内表面镀有金属镜面；光电探测器(60)的输入端接收光束耦合器(40)引出的光束，输出端与锁相放大器(70)的输入端相连，锁相放大器(70)的输出端与上位机(80)相连。

2.如权利要求1所述一种基于腔增强的单光路痕量气体在线检测装置，其特征在于：可调谐半导体激光器选用辐射波长为9.55μm的量子级联激光器。

3.如权利要求1所述一种基于腔增强的单光路痕量气体在线检测装置，其特征在于：光束耦合器为棱镜光束耦合器、光栅光束耦合器或微纳结构耦合器中的一种。

4.如权利要求1所述一种基于腔增强的单光路痕量气体在线检测装置，其特征在于：光学球形腔为二氧化硅腔，腔体的直径为150mm。

5.如权利要求1所述一种基于腔增强的单光路痕量气体在线检测装置，其特征在于：光学球形腔内镀的金属镜面为银、金、铝或铂中的一种。

6.如权利要求1所述一种基于腔增强的单光路痕量气体在线检测装置，其特征在于：还包括用于安装可调谐半导体激光器的散热器。

7.如权利要求1所述一种基于腔增强的单光路痕量气体在线检测装置，其特征在于：光电探测器为光电倍增管。