[实用新型]蚀刻装置和异质结电池片绕镀去除设备有效
| 申请号: | 202120993227.6 | 申请日: | 2021-05-11 |
| 公开(公告)号: | CN214705867U | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
| 发明(设计)人: | 左国军;宋广华;舒欣 | 申请(专利权)人: | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人: | 尚志峰;王淑梅 |
| 地址: | 213133 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 蚀刻 装置 异质结 电池 片绕镀 去除 设备 | ||
1.一种蚀刻装置,其特征在于,包括:
至少一个工作台,用于固定放置电池片;
点胶组件,其上装载有刻蚀胶;
所述点胶组件能够围绕所述工作台边缘移动,以将所述刻蚀胶涂抹于所述电池片的边缘。
2.根据权利要求1所述的蚀刻装置,其特征在于,
所述工作台的数量为两个且相对设置;以及
两个电池片平行设置且边缘对齐。
3.根据权利要求1所述的蚀刻装置,其特征在于,所述工作台包括:
本体;
吸附工位,凸出设置于所述本体上,用于吸附固定所述电池片。
4.根据权利要求3所述的蚀刻装置,其特征在于,
所述吸附工位的边缘位于所述本体边缘的内侧,且
所述电池片的边缘位于所述本体的边缘的外侧。
5.根据权利要求1所述的蚀刻装置,其特征在于,还包括:
一输送机构,用于将所述电池片输送至所述工作台上。
6.根据权利要求5所述的蚀刻装置,其特征在于,
所述输送机构包括机械手或真空吸附装置。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的蚀刻装置,其特征在于,所述点胶组件包括:
点胶件;
驱动件,与所述点胶件相连接,用于带动所述点胶件围绕所述工作台移动,以使所述点胶件在所述电池片的边缘表面移动。
8.根据权利要求7所述的蚀刻装置,其特征在于,所述点胶件包括:
点胶棒,用于装载所述刻蚀胶;以及
所述点胶棒的棒体为柔性棒体。
9.一种异质结电池片绕镀去除设备,其特征在于,包括:
如权利要求1至8中任一项所述的蚀刻装置,用于对电池片的边缘涂抹刻蚀胶;
加热装置,用于对涂抹刻蚀胶的电池片进行加热。
10.根据权利要求9所述的异质结电池片绕镀去除设备,其特征在于,还包括:
清洗装置,用于对电池片进行清洗。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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