[实用新型]多线切割半导体晶棒用线网砂浆流量分布在线检测装置有效
| 申请号： | 202120843774.6 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN214605230U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 赵延祥;历莉;刘波;程博;王忠保 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;G01F1/52;G01F1/22 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750000 宁夏回族自*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切割 半导体 晶棒用线网 砂浆 流量 分布 在线 检测 装置 | ||
1.一种多线切割半导体晶棒用线网砂浆流量分布在线检测装置，其特征在于，包括砂浆内槽，所述砂浆内槽底部设置有若干隔液板，相邻两个所述隔液板之间形成流淌槽，每个所述流淌槽底部连通有下料管，所述下料管上设置有用于检测通过所述下料管的砂浆的流量的流量计。
2.如权利要求1所述的多线切割半导体晶棒用线网砂浆流量分布在线检测装置，其特征在于，还包括砂浆回收槽，所述砂浆回收槽设置于所述砂浆内槽的底部，且所述砂浆回收槽的槽底低于所述下料管的出料端。
3.如权利要求1所述的多线切割半导体晶棒用线网砂浆流量分布在线检测装置，其特征在于，若干所述隔液板均匀分布在所述砂浆内槽的底部。
4.如权利要求3所述的多线切割半导体晶棒用线网砂浆流量分布在线检测装置，其特征在于，相邻两个所述隔液板之间的距离为20mm～60mm。
5.如权利要求3或4所述的多线切割半导体晶棒用线网砂浆流量分布在线检测装置，其特征在于，相邻两个所述隔液板之间的距离为30mm～50mm。
6.如权利要求1所述的多线切割半导体晶棒用线网砂浆流量分布在线检测装置，其特征在于，所述下料管的管径为相邻两个所述隔液板间距的1/2～1倍。
7.如权利要求2所述的多线切割半导体晶棒用线网砂浆流量分布在线检测装置，其特征在于，所述砂浆回收槽的槽底与所述下料管的出料端之间的距离不小于5mm。
8.如权利要求1所述的多线切割半导体晶棒用线网砂浆流量分布在线检测装置，其特征在于，所述流量计为电磁流量计或转子流量计。
9.如权利要求1所述的多线切割半导体晶棒用线网砂浆流量分布在线检测装置，其特征在于，所述砂浆内槽的两端可拆卸设置有检修挡板。
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