[实用新型]一种用于微小芯片转移的节距调整装置有效
| 申请号: | 202120773557.4 | 申请日: | 2021-04-15 |
| 公开(公告)号: | CN214705862U | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
| 发明(设计)人: | 付桂花;马洪毅 | 申请(专利权)人: | 山西高科华兴电子科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司: | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人: | 崔雪花;冷锦超 |
| 地址: | 046000 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 微小 芯片 转移 调整 装置 | ||
1.一种用于微小芯片转移的节距调整装置,其特征在于,包括固定框架,所述固定框架内设置有可左右移动的节距调整机构,所述节距调整机构包括网状伸缩臂和多个节距执行板,所述固定框架内一侧设置有出力板,所述出力板连接在丝杆上,所述丝杆连接有驱动装置,所述丝杆两侧设置有轨道;所述网状伸缩臂与轨道滑动连接,网状伸缩臂与出力板连接;
所述网状伸缩臂包括依次滑动连接在所述轨道上的主动关节、多个滑动关节和主定关节,所述多个滑动关节之间连接有网状臂,所述网状臂通过多个中间关节实现伸缩;所述主动关节与出力板相连接,所述主定关节固定连接在远离出力板的一端;所述主动关节、滑动关节、主定关节均携带一节距执行板;相邻两个节距执行板之间的间距在驱动装置作用下可等距离拉长和收缩,所述节距执行板用于插入微小芯片的行或列内进行节距调整。
2.根据权利要求1所述的一种用于微小芯片转移的节距调整装置,其特征在于,所述主定关节通过固定板设置在固定框架上。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于微小芯片转移的节距调整装置,其特征在于,所述节距调整装置连接有拍齐运动机构,所述拍齐运动机构用于带动节距调整装置整体左右运动以拍齐微小芯片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





