[实用新型]半导体功率器件测试用热能交换调节装置

权利要求书

1.一种半导体功率器件测试用热能交换调节装置，其特征是：包括调节支撑导轨(7)以及设置于所述调节支撑导轨(7)上的液体热交换管路，所述液体热交换管路至少包括液体热交换第一支路；

所述液体热交换第一支路包括热交换第一支路第一管路(31)、热交换第一支路第二管路(32)以及热交换第一支路旁路管(39)；其中，在热交换第一支路第一管路(31)上，包括与所述热交换第一支路第一管路(31)适配连接的第一支路第一开关阀(13)、第一支路第二调节阀(28)以及第一支路第二开关阀(26)；在热交换第一支路第二管路(32)上，包括与所述热交换第一支路第二管路(32)适配连接的第一支路第三开关阀(25)；在热交换第一支路旁路管(39)上，包括与所述热交换第一支路旁路管(39)适配连接的第一支路第一调节阀(29)；

沿热交换第一支路第一管路(31)的第一连接端指向所述热交换第一支路第一管路(31)第二连接端方向上，第一支路第一开关阀(13)、第一支路第二调节阀(28)以及第一支路第二开关阀(26)在所述热交换第一支路第一管路(31)上依次排布；热交换第一支路旁路管(39)的第一旁路管端与热交换第一支路第一管路(31)适配连接后形成第一支路旁路第一结合部，热交换第一支路旁路管(39)的第二旁路管端与热交换第一支路第一管路(31)适配连接后形成第一支路旁路第二结合部，第一支路旁路第一结合部位于热交换第一支路第一管路(31)的第一连接端与第一支路第一开关阀(13)之间，第一支路旁路第二结合部位于第一支路第二调节阀(28)与第一支路第二开关阀(26)之间；

还包括连接热交换第一支路第一管路(31)与热交换第一支路第二管路(32)的第一支路内管路连接管(35)，在所述第一支路内管路连接管(35)上设置第一支路第四开关阀(30)；所述第一支路内管路连接管(35)的一端与热交换第一支路第一管路(31)适配连接后形成第一支路内管路第一结合部，所述第一支路内管路连接管(35)的另一端与热交换第一支路第二管路(32)适配连接后形成第一支路内管路第二结合部，其中，第一支路内管路第一结合部位于第一支路位于第一开关阀(13)与第一支路第二调节阀(28)之间，第一支路内管路第二结合部位于第一支路第三开关阀(25)与热交换第一支路第二管路(32)的第一端之间。