[实用新型]用于多晶硅还原炉的水冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种用于多晶硅还原炉的水冷却装置，涉及多晶硅生产技术领域，主要目的是提高多晶硅还原炉冷却水的利用效率。本实用新型的主要技术方案为：用于多晶硅还原炉的水冷却装置，包括：主换热部包括第一板式换热器和第一空气冷却器；第一散热组包括依次串联的二次换热机构和第二冷却管，第二冷却管穿设于电气调控柜内部，第一冷却管螺旋缠绕于还原炉电极的轴侧，用于带走还原炉电极产生的热量，第一散热组和第一冷却管构成第一并联结构；第一空气冷却器的出口连接于罐体的进口，罐体的出口连接于第一板式换热器的进口，第一板式换热器的出口连接于第一并联结构的进口，第一并联结构的出口连接于第一空气冷却器的进口。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种用于多晶硅还原炉的水冷却装置。

背景技术

在多晶硅生产中，高纯TCS(三氯氢硅)和H₂按一定配比通入化学气相沉积反应器，在1080℃～1200℃、6bar条件下发生还原反应，生成高纯多晶硅，因为是高温条件下的反应，所以还原炉钟罩、还原炉底盘、底盘上的电极都需要用冷却水进行降温；而且，还原炉的功率调控柜及电极连接电缆在运行时也发热，也需要采用低温调控水对其冷却，带走热量，使电气设备稳定运行。

但是，按照工艺要求，电气调控柜和电极连接电缆的工作温度要低于还原炉电极的工作温度，所以需要向两个位置分别提供不同温度的冷却水。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种用于多晶硅还原炉的水冷却装置，主要目的是提高多晶硅还原炉冷却水的利用效率。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型提供了一种用于多晶硅还原炉的水冷却装置，该装置包括：罐体、主换热部和散热部；

所述罐体用于储存冷却水；

所述主换热部包括第一板式换热器和第一空气冷却器；

所述散热部包括第一散热组和第一冷却管，所述第一散热组包括依次串联的二次换热机构和第二冷却管，所述第二冷却管穿设于电气调控柜内部，用于带走电气调控柜产生的热量，所述第一冷却管螺旋缠绕于还原炉电极的轴侧，用于带走还原炉电极产生的热量，所述第一散热组和所述第一冷却管构成第一并联结构；

其中，所述第一空气冷却器的出口连接于所述罐体的进口，所述罐体的出口连接于所述第一板式换热器的进口，所述第一板式换热器的出口连接于所述第一并联结构的进口，所述第一并联结构的出口连接于所述第一空气冷却器的进口。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

可选的，所述二次换热机构包括第二空气冷却器和第二板式换热器，所述第二空气冷却器和所述第二板式换热器构成第二并联结构。

可选的，所述第一空气冷却器设有第一旁通管道，所述第一板式换热器设有第二旁通管道。

可选的，所述第一板式换热器设有第一空间和第二空间，所述第一空间的一端连接于所述罐体的出口，另一端连接于所述第一并联结构的进口，用于使所述冷却水流过所述第一空间，所述第二空间的两端分别连接于玻璃钢冷却塔，用于使循环水流过第二空间。

可选的，所述第二板式换热器设有第三空间和第四空间，所述第三空间的一端分别连接于所述第二空气冷却器的进口和所述第一板式换热器的出口，另一端分别连接于所述第二空气冷却器的出口和所述第二冷却管的进口，用于使所述冷却水流过所述第三空间，所述第四空间的两端分别连接于溴化锂机组。

可选的，所述罐体的侧壁安装有磁翻板液位计。

借由上述技术方案，本实用新型至少具有下列优点：