[实用新型]一种芯片承载台有效

专利信息
申请号: 202120579006.4 申请日: 2021-03-22
公开(公告)号: CN212991073U 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 邬昌兴 申请(专利权)人: 华东交通大学
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/687;F21V33/00;F21V21/14;F21V21/22;F21V21/36
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 黄攀
地址: 330000 江西省南*** 国省代码: 江西;36
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 承载
【权利要求书】:

1.一种芯片承载台,包括底座(1)以及设于所述底座(1)上方的承载平台(2),其特征在于,在所述底座(1)的内侧设有旋转机构(5),所述旋转机构(5)包括大齿轮(52)以及小齿轮(53),所述大齿轮(52)与所述小齿轮(53)之间为啮合连接,所述大齿轮(52)与所述小齿轮(53)的中心处分别穿插设有第一转动杆(51)以及第二转动杆(54),所述第二转动杆(54)的一端通过滚珠轴承与所述底座(1)的内壁之间呈转动连接,所述第二转动杆(54)的另一端安装有第一伞齿轮(55);

所述第一伞齿轮(55)远离所述第二转动杆(54)的一侧啮合连接有第二伞齿轮(56),所述第二伞齿轮(56)的中心处穿插设有空心旋转杆(4),所述空心旋转杆(4)的顶端贯穿所述底座(1)并延伸至所述底座(1)的外侧且与承载平台(2)相贯通,所述承载平台(2)的顶部开口处设有吸附板(21),所述吸附板(21)的顶部靠近外沿边安装有调节机构(7),所述调节机构(7)的一侧设有照明灯(3)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片承载台,其特征在于,所述吸附板(21)上并排设有多个吸附孔(211),所述吸附孔(211)的底部贯穿吸附板(21)并与辅抽气管(23)贯通连接,所述辅抽气管(23)设于所述承载平台(2)的内部,所述底座(1)的内底板上设有真空泵(6),所述真空泵(6)与主抽气管(61)连通,在底座(1)侧壁外安装有过滤筒(62),过滤筒(62)穿过底座(1)的外壳与真空泵(6)连接,在所述过滤筒(62)的内壁上设有第一过滤网(621)。

3.根据权利要求2所述的一种芯片承载台,其特征在于,所述空心旋转杆(4)的底端贯穿所述底座(1)内的隔板(11)并通过转动件(41)与所述隔板(11)呈转动连接,所述空心旋转杆(4)的内侧设有所述主抽气管(61),所述主抽气管(61)的两端通过接头分别与真空泵(6)的进气端以及所述辅抽气管(23)的总出气口相连。

4.根据权利要求3所述的一种芯片承载台,其特征在于,所述承载平台(2)内部设有弹力层(22),所述辅抽气管(23)均分布于所述弹力层(22)内。

5.根据权利要求4所述的一种芯片承载台,其特征在于,所述吸附孔(211)的截面呈漏斗型,在所述吸附孔(211)的内侧设有第二过滤网(212)。

6.根据权利要求1所述的一种芯片承载台,其特征在于,所述调节机构(7)包括套杆(71),所述套杆(71)固定于所述吸附板(21)的顶部,所述套杆(71)的顶部内侧套设有滑动杆(72),所述滑动杆(72)的一侧安装有安装件(74),所述安装件(74)的内侧通过自锁转轴连接有连接件(31),所述连接件(31)远离安装件(74)的一端与照明灯(3)相连,在所述套杆(71)上部的一侧设有锁紧螺栓(73)。

7.根据权利要求6所述的一种芯片承载台,其特征在于,所述套杆(71)上对称设有条形限位孔(711),所述滑动杆(72)底端的外壁上对称安装有限位滑杆(721),所述限位滑杆(721)与所述条形限位孔(711)之间为滑动连接。

8.根据权利要求1所述的一种芯片承载台,其特征在于,所述第一转动杆(51)的一端贯穿所述底座(1)并延伸至所述底座(1)的外侧,所述第一转动杆(51)的自由末端安装有手摇轮(57)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华东交通大学,未经华东交通大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120579006.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top