[实用新型]半导体切割装置视觉检测机有效

专利信息
申请号: 202120479509.4 申请日: 2021-03-05
公开(公告)号: CN214408719U 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 冯磊 申请(专利权)人: 威海明道精密机械有限公司
主分类号: G01N21/84 分类号: G01N21/84;G01N21/01
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 264211 山东省威海市临*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 半导体 切割 装置 视觉 检测
【说明书】:

实用新型公开了半导体切割装置视觉检测机,包括视觉检测机本体、升降结构、夹持结构、旋转阻尼转轴,所述视觉检测机本体上表面的一侧安装有升降结构,所述视觉检测机本体上表面的中部安装有摄像头;本实用新型通过设置有夹持结构和旋转阻尼转轴,并且将半导体通过夹持结构夹持固定,通过设置有旋转阻尼转轴,能够将夹持结构转动到任意的角度,同时,也能够将待检的半导体转动到任意的角度,通过设置有升降结构,能够带动夹持结构上下运动,同时,也能够带动待检的半导体上下运动,因此,能够对夹持的半导体夹持的角度和高度分别进行调整,能够从各个角度对半导体进行视觉检测,提高了检测的效果,确保半导体检测的质量。

技术领域

本实用新型涉及视觉检测机技术领域,具体为半导体切割装置视觉检测机。

背景技术

半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质,其电导率容易受控制,可作为信息处理的元件材料,从科技或是经济发展的角度来看,半导体非常重要,很多电子产品,如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息,常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上最具有影响力的一种,目前,集成电路产业是我国大力发展的重要科技产业,而半导体的生产和检测是该产业的基础,在半导体切割后,非常容易产生诸如污染、划痕和裂纹等缺陷,因此,需要使用到视觉检测机,视觉检测机在检测时,需要对半导体进行夹持固定,但是,目前的半导体视觉检测时使用的夹持机构还存在一些不足,比如:

现有技术中半导体使用的夹持机构采用气缸和夹持板进行夹持固定,但是,不能对夹持的半导体夹持的角度和高度分别进行调整,而视觉检测机上的视觉摄取装置是固定不变的,因此,不能从各个角度对半导体进行视觉检测,降低了检测的效果,影响半导体检测的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供半导体切割装置视觉检测机,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:半导体切割装置视觉检测机,包括视觉检测机本体、升降结构、夹持结构、旋转阻尼转轴,所述视觉检测机本体上表面的一侧安装有升降结构,所述视觉检测机本体上表面的中部安装有摄像头,所述升降结构上安装有夹持结构,所述升降结构和所述夹持结构通过所述旋转阻尼转轴转动连接。

优选的,所述升降结构还包括丝杆、固定板和移动板,所述视觉检测机本体和所述固定板的相邻面设置有丝杆和限位杆,所述丝杆的一端穿过所述固定板固定连接有把手,且丝杆的两端分别与所述固定板和所述视觉检测机本体通过轴承转动连接,所述限位杆的一端与所述固定板固定连接,所述限位杆的另一端与所述视觉检测机本体固定连接,所述丝杆和所述限位杆上套接有移动板,所述移动板与所述丝杆螺纹连接,所述移动板与所述限位杆滑动连接,所述移动板的一端转动连接有夹持结构。

优选的,所述夹持结构还包括螺杆、固定套和第一夹持板,所述移动板的一端通过所述旋转阻尼转轴转动连接有螺杆,所述螺杆的一端通过螺栓固定连接有第二夹持板,所述螺杆上套接有固定套和第一夹持板,所述螺杆与所述固定套螺纹连接,所述螺杆与所述第一夹持板滑动连接。

优选的,所述第一夹持板的中部开设有通孔,且通孔的内壁两侧均固定连接有滑块,所述螺杆的相应位置处均开设有滑槽,所述滑块与所述滑槽滑动连接。

优选的,所述第一夹持板和所述第二夹持板的相邻面均黏贴有弹性保护层。

优选的,所述第一夹持板和所述第二夹持板的相邻面均为圆形结构。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

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