[实用新型]扫描电镜样品台

说明书

本实用新型提供了一种扫描电镜样品台，包括台体和样品载网，台体的上端面开设有朝向其内部延伸的容纳腔；样品载网可拆卸地设置在容纳腔；样品载网与容纳腔的底面之间具有预设间距，样品载网用于承载经过分散液分散后的样品悬浊液，从而在经过烘干后能够使样品粉末或颗粒均匀粘连在样品载网上，防止在分散剂蒸干过程中样品粉末或颗粒发生重胶结从而保证SEM‑EDS的检测结果。

技术领域

本实用新型涉及科研设备领域，具体而言，涉及一种扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）作为可同步表征物质的表观特征和元素分布的高分辨率高精度大型精密仪器，已在生命、物理、化学、材料和地球科学等领域的微观研究和物质鉴别中得到广泛应用。

而目前在实际应用中，扫描和透射电镜图谱的质量却往往因制样质量的好坏而存在较大差异。对于粉末和粘性较大的颗粒样品（如土壤样品），通常有两种制样方法：一是直接将粉末或颗粒样品撒在导电胶用于SEM-EDS分析；二是利用液体分散剂将样品颗粒或粉末先进行分散，再将分散液滴加在样品台上，经烘箱烘干后对样品台上的试样喷溅导电层后即可进行SEM-EDS分析。

上述方法中，第一种方法将粉末或颗粒样品直接撒在导电胶，往往由于操作难度大而导致部分位置样品堆积，难以实现样品在导电胶上均匀分布。第二种方法将分散的样品滴加至样品台上，尽管在很大程度消除了第一种方法由于人为操作造成的样品堆积，但是由于现有的样品台为一个敞开式的平面台体，在分散剂蒸干过程中样品粉末或颗粒会发生重胶结进而影响SEM-EDS的检测结果。此外，由于样品台为敞开式结构，烘干后的样品极易被污染。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种扫描电镜样品台，以至少解决现有技术中的扫描电镜样品台在分散剂蒸干过程中样品粉末或颗粒却会发生重胶结从而影响SEM-EDS检测结果的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种扫描电镜样品台，包括：台体，台体的上端面开设有朝向其内部延伸的容纳腔；样品载网，可拆卸地设置在容纳腔；其中，样品载网与容纳腔的底面之间具有预设间距，样品载网用于承载经过分散液分散后的样品悬浊液。

进一步地，台体和容纳腔均为圆柱形结构，样品载网为圆形结构；其中，样品载网的直径与容纳腔的直径相匹配。

进一步地，容纳腔底部的侧壁上开设有沿台体的径向延伸的排液孔；其中，排液孔用于将样品载网漏下的样品悬浊液排出。

进一步地，排液孔的孔径小于容纳腔高度的三分之一。

进一步地，扫描电镜样品台还包括：挡板，挡板为多个，多个挡板沿容纳腔的周向间隔设置在容纳腔的侧壁上；其中，多个挡板用于支撑样品载网。

进一步地，挡板沿容纳腔径向的长度小于样品载网直径的五分之一。

进一步地，挡板的底面与容纳腔的底面之间的间距大于容纳腔高度的一半。

进一步地，扫描电镜样品台还包括：胶塞，胶塞为圆形结构并与容纳腔的上端口形状匹配；其中，胶塞用于设置在容纳腔的上端口以将容纳腔封闭。

进一步地，台体采用铝或硅制成，样品载网为碳膜铜网或者金膜镍网。

进一步地，扫描电镜样品台还包括：连接架，设置在台体的下方，台体通过连接架固定连接在扫描电镜的检测部位。

应用本实用新型技术方案的扫描电镜样品台，包括台体和样品载网，台体的上端面开设有朝向其内部延伸的容纳腔；样品载网可拆卸地设置在容纳腔；样品载网与容纳腔的底面之间具有预设间距，样品载网用于承载经过分散液分散后的样品悬浊液，从而在经过烘干后能够使样品粉末或颗粒均匀粘连在样品载网上，防止在分散剂蒸干过程中样品粉末或颗粒发生重胶结从而保证SEM-EDS的检测结果。

附图说明