[实用新型]一种磁控溅射设备观察辅助机构

权利要求书

1.一种磁控溅射设备观察辅助机构，包括设置在磁控溅射设备外壁（2）的观察窗（1），其特征是：在观察窗（1）的一侧设置用于盖住观察窗的挡板（3），所述挡板（3）设置在磁控溅射设备外壁（2）的内侧，有驱动挡板（3）转动的转杆（4），转杆（4）穿过磁控溅射设备外壁（2），在转杆（4）上设置圆形限位板（5），圆形限位板（5）设置在磁控溅射设备外壁（2）的外侧，在磁控溅射设备外壁（2）的外侧设置有可拆卸的固定块（6），转杆（4）穿过所述固定块（6），且在固定块（6）靠近磁控溅射设备外壁（2）的一侧设置有与圆形限位板（5）匹配的第一凹槽，在固定块（6）远离磁控溅射设备外壁（2）的一侧设置用于放置转杆密封套（7）的第二凹槽，转杆密封套（7）套装在转杆（4）上；

在转杆密封套（7）外设置有防止转杆密封套（7）脱落的护套（10），护套（10）套在固定块（6）外部，所述护套（10）中部设置有用于转杆（4）通过的通孔，在护套（10）内设置有弧形的夹紧板（12），夹紧板（12）上设置穿过护套（10）的推进杆（11），推进杆（11）与护套（10）螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射设备观察辅助机构，其特征是：

在磁控溅射设备外壁（2）的内侧设置用于容纳挡板（3）转动的第三凹槽（8）。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射设备观察辅助机构，其特征是：

在磁控溅射设备外壁（2）的外侧设置有圆形的卡槽（15），固定块（6）上设置有与卡槽（15）匹配的凸起（9）。

4.根据权利要求3所述的磁控溅射设备观察辅助机构，其特征是：

所述固定块（6）为圆柱形，转杆（4）设置在圆柱形的固定块（6）的轴心线上，且圆形的卡槽（15）的直径大于圆形限位板（5）的直径。

5.根据权利要求1所述的磁控溅射设备观察辅助机构，其特征是：

在转杆（4）远离挡板（3）的一端设置可拆卸的旋转把手（13）。