[实用新型]一种弹压式探针板的芯片吸盘取放机有效
| 申请号： | 202120338272.8 | 申请日： | 2021-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN214588754U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 朴文杰;金光福 | 申请（专利权）人： | 苏州奥金斯电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 弹压 探针 芯片 吸盘 取放机 | ||
1.一种弹压式探针板的芯片吸盘取放机，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上表面中部水平固定安装有探针板(2)，所述探针板(2)内中部开设有卡槽(17)，所述探针板(2)上表面左右两侧均转动安装有支杆(15)，两组所述支杆(15)靠近卡槽(17)的一端与卡爪(16)上表面中部固定连接，两组所述支杆(15)远离卡槽(17)的一端底部均固定连接有压缩弹簧(14)，两组所述压缩弹簧(14)底部分别与探针板(2)上表面左右两侧固定连接；
所述工作台(1)后侧顶部垂直固定安装有支柱(8)，所述支柱(8)前侧顶部水平安装有调节支板(7)，所述调节支板(7)中部滑动连接有调节块(9)，所述调节块(9)底部与横板(6)上表面中部固定连接，所述横板(6)下表面中部固定安装有真空发生器(10)，所述真空发生器(10)下表面中部固定连通有导气管(11)，所述导气管(11)底部与波纹软管(12)顶部固定连通，所述波纹软管(12)底部与吸嘴(13)上表面中部固定连通，所述横板(6)下表面左右两侧均垂直固定安装有电动推杆(5)，两组所述电动推杆(5)底部分别与两组左右对称分布的支板(4)上表面中部固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种弹压式探针板的芯片吸盘取放机，其特征在于：两组所述卡爪(16)分别置于卡槽(17)顶部开口处左右两侧。
3.根据权利要求1所述的一种弹压式探针板的芯片吸盘取放机，其特征在于：所述吸嘴(13)与卡槽(17)的上下位置相对应，且吸嘴(13)底部开口处与卡槽(17)的大小规格相匹配。
4.根据权利要求1所述的一种弹压式探针板的芯片吸盘取放机，其特征在于：两组所述支板(4)分别与吸嘴(13)左右两侧中部偏下处固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种弹压式探针板的芯片吸盘取放机，其特征在于：两组所述支板(4)远离吸嘴(13)的一端底部均垂直固定安装有顶杆(3)。
6.根据权利要求5所述的一种弹压式探针板的芯片吸盘取放机，其特征在于：两组所述顶杆(3)底部分别与两组所述支杆(15)远离卡槽(17)的一端的上下位置相对应。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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