[实用新型]一种单向阀及具有该单向阀的真空设备有效
| 申请号： | 202120322255.5 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN214500150U | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 陈林;岳向成;王国梁 | 申请（专利权）人： | 中科九微科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K15/06 | 分类号： | F16K15/06;F16K27/02 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 637000 四川省南充*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单向阀 具有 真空设备 | ||
1.一种单向阀，其特征在于，用于连接在真空设备的壳体(1)上，包括：阀体(5)，所述阀体(5)沿轴向依次设有进气口(6)和出气口(7)，所述进气口(6)和所述出气口(7)均设置在所述阀体(5)的侧壁上；
所述阀体(5)内设有阀芯(8)，所述阀芯(8)上连接有弹性件(9)，所述弹性件(9)具有驱动所述阀芯(8)对所述阀体(5)内的气体通道进行封闭的弹性力；
所述阀芯(8)在所述气体通道内朝向所述进气口(6)的方向设置，所述阀芯(8)具有克服所述弹性件(9)的弹性力朝向所述出气口(7)的方向进行移动的开启位置。
2.根据权利要求1所述的单向阀，其特征在于，所述出气口(7)在所述阀体(5)的侧壁上具有对称设置的两个。
3.根据权利要求1所述的单向阀，其特征在于，所述阀体(5)上具有法兰件(10)，所述法兰件(10)用于与真空设备的壳体(1)连接。
4.根据权利要求3所述的单向阀，其特征在于，所述阀体(5)的外壁上，在所述法兰件(10)与所述进气口(6)之间，套设有至少一个密封圈(11)。
5.根据权利要求1所述的单向阀，其特征在于，所述阀体(5)的外壁上，在所述进气口(6)和所述出气口(7)之间，套设有至少一个密封圈(11)。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的单向阀，其特征在于，所述阀芯(8)上具有导向杆(12)；
所述阀体(5)内可拆卸地设置有导套(13)，所述导套(13)内具有导向孔，所述导向杆(12)与所述导向孔间隙配合；
所述导套(13)内可拆卸地连接有衬套(14)，所述导向杆(12)可滑动地插入在所述衬套(14)内。
7.一种真空设备，其特征在于，包括：壳体(1)，所述壳体(1)内具有高压腔(2)和低压腔(3)，所述壳体(1)内还具有连通所述高压腔(2)和所述低压腔(3)的安装通道，所述安装通道内设置有权利要求1-6中任一项所述的单向阀(4)，所述单向阀(4)能够从所述高压腔(2)朝向所述低压腔(3)进行导通。
8.根据权利要求7所述的真空设备，其特征在于，所述壳体(1)上在所述安装通道的外端设有用于连接法兰件(10)的孔结构。
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