[实用新型]一种SiCl4

权利要求书

1.一种SiCl₄输送系统，其特征在于，包括源料罐车、氮压式卸料子系统、泵送式输送子系统和氮压式供给子系统，

所述源料罐车用于存储液态的SiCl₄源料；

所述氮压式卸料子系统用于利用氮气将SiCl₄源料从源料罐车中压出并输送至泵送式输送子系统中；

所述泵送式输送子系统用于将SiCl₄源料以设定压力输送至氮压式供给子系统；

所述氮压式供给子系统用于将SiCl₄源料分流供给给各个工艺机台；

其中，所述泵送式输送子系统和氮压式供给子系统的承压能力均大于源料罐车的承压能力。

2.根据权利要求1所述的SiCl₄输送系统，其特征在于，所述氮压式卸料子系统包括卸料柜和废液回收柜，所述卸料柜分别通过管路与源料罐车和泵送式输送子系统相连。

3.根据权利要求2所述的SiCl₄输送系统，其特征在于，所述泵送式输送子系统包括用于临时存储卸料柜输送过来的SiCl₄源料的固定罐、用于对固定罐内的压力进行实时平衡控制的压力平衡柜、用于将固定罐内的SiCl₄源料泵出的泵送控制柜、以及用以对泵出的SiCl₄源料进行过滤的过滤柜，所述压力平衡柜通过管路与固定罐相连，固定罐通过管路与泵送控制柜相连，泵送控制柜通过管路与过滤柜相连。

4.根据权利要求3所述的SiCl₄输送系统，其特征在于，所述泵送式输送子系统还包括安全防护控制单元，所述安全防护控制单元包括用于检测是否存在SiCl₄源料泄露的漏液传感器、用于检测是否存在HCL有毒气体泄露的气体检测仪、用于自动释放存储机油的机油释放装置以及控制器，所述漏液传感器、气体检测仪和机油释放装置均与控制器电连接。

5.根据权利要求4所述的SiCl₄输送系统，其特征在于，所述机油释放装置包括机油桶，所述机油桶内储存有机油，机油桶上安装有控制阀，控制阀与控制器电连接。

6.根据权利要求3所述的SiCl₄输送系统，其特征在于，氮压式供给子系统包括至少一个缓冲柜和分流阀组箱，所述缓冲柜设置在生产车间内并通过管路分别与过滤柜和分流阀组箱相连，所述分流阀组箱设置在工艺机台附近并通过管路分别与各个工艺机台的蒸发罐相连。

7.根据权利要求3所述的SiCl₄输送系统，其特征在于，所述压力平衡柜内设置有进气管、排气管，所述进气管和排气管与固定罐相连通，进气管上安装有用于检测固定罐内压力的压力传感器。

8.根据权利要求7所述的SiCl₄输送系统，其特征在于，所述压力平衡柜内还设置有输液管、液体回流管和气体回流管，所述输液管的一端与卸料柜相连、另一端与固定罐相连；

所述液体回流管的一端与固定罐相连、另一端分别与泵送控制柜和过滤柜相连，液体回流管和输液管之间连接有旁通管；

所述气体回流管的一端与固定罐相连、另一端与泵送控制柜相连。

9.根据权利要求1所述的SiCl₄输送系统，其特征在于，所述泵送式输送子系统和氮压式供给子系统所处空间的地面上设置有泄露源料收集空间。

10.根据权利要求9所述的SiCl₄输送系统，其特征在于，所述泄露源料收集空间的地面设置为倾斜面。