[实用新型]一种三氯氢硅合成过程中的除尘装置

权利要求书

1.一种三氯氢硅合成过程中的除尘装置，其特征在于：包括旋风除尘器、滤筒除尘器、布袋除尘器、硅粉回收罐、换热器、光催化反应器、吸收塔、酸罐、喷淋泵、碱洗塔、碱罐、循环泵、泥浆泵、板框压滤机、引风机、水封罐和烟囱，所述旋风除尘器的进气口连接烟气管道，旋风除尘器的出气口连接至滤筒除尘器，滤筒除尘器的出气口连接至布袋除尘器，旋风除尘器、滤筒除尘器和布袋除尘器的出灰口均连接至硅粉回收罐，布袋除尘器的出气口经过换热器连接至光催化反应器，光催化反应器的出气口连接至吸收塔，吸收塔顶部设置有第一喷淋器，所述酸罐通过喷淋泵连接至第一喷淋器，吸收塔底部出水口返接至酸罐，酸罐上设置有第一pH计，酸罐顶部设置有补水口，补水口上设置有补水阀，酸罐底部设置有排液口，排液口上设置有排液阀，吸收塔的出气口连接至碱洗塔，碱洗塔顶部设置有第二喷淋器，所述碱罐通过循环泵连接至第二喷淋器，碱洗塔底部出水口连接至碱罐，碱罐上设置有第二pH计，碱罐顶部设置有用于添加消石灰的补碱口，碱罐内同轴设置有搅拌器，碱罐底部设置有出浆口，出浆口通过泥浆泵连接至板框压滤机的入料口，板框压滤机的出液口连接至碱罐，碱洗塔的出气口通过引风机连接至水封罐的进气口，水封罐的出气口连接至烟囱，烟囱内设置活性炭吸附棉过滤层。

2.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成过程中的除尘装置，其特征在于：所述旋风除尘器的出气口直径为其上部筒体直径的0.5倍，其出灰口直径为其上部筒体直径的0.4倍。

3.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成过程中的除尘装置，其特征在于：所述滤筒除尘器采用脉冲反吹滤筒除尘器，所述布袋除尘器为脉冲反吹布袋除尘器。

4.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成过程中的除尘装置，其特征在于：所述吸收塔和碱洗塔均为玻璃钢洗涤塔，吸收塔和碱洗塔内均设置有多层氟塑料悬浮球填料。

5.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成过程中的除尘装置，其特征在于：所述换热器采用管壳式换热器，换热器上设置有冷水入口和热水出口。

6.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成过程中的除尘装置，其特征在于：所述硅粉回收罐的出料口连接至三氯氢硅合成塔的进料口。

7.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成过程中的除尘装置，其特征在于：所述酸罐和碱罐均为钢衬四氟储罐，喷淋泵和循环泵均为氟塑料离心泵。

8.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成过程中的除尘装置，其特征在于：所述喷淋泵和循环泵的进水口分别设置有第一过滤器和第二过滤器。