[实用新型]一种单晶炉用气体过滤罐有效

专利信息
申请号: 202120148294.8 申请日: 2021-01-20
公开(公告)号: CN215609998U 公开(公告)日: 2022-01-25
发明(设计)人: 武绚丽;董朝海;颜玉峰 申请(专利权)人: 曲靖晶龙电子材料有限公司
主分类号: B01D46/02 分类号: B01D46/02;B01D46/04
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 徐颖聪
地址: 655000 云南省曲靖市曲靖*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉用 气体 过滤
【权利要求书】:

1.一种单晶炉用气体过滤罐,其特征在于,包括:

上封头,所述上封头顶端设有可打开/关闭的出气口;

罐体,所述罐体连接于所述上封头的下端且所述罐体外部侧面设有可打开/关闭的保养门,所述罐体内部用于容纳过滤袋;

延伸部,所述延伸部连接于所述罐体下端;

下封头,所述下封头连接于所述延伸部的底端且所述下封头外部侧面设有可打开/关闭的进气口。

2.根据权利要求1所述的单晶炉用气体过滤罐,其特征在于,所述罐体内部顶端固定有悬挂梁,所述悬挂梁的下端悬挂有用于连接所述过滤袋的弹簧卡扣。

3.根据权利要求2所述的单晶炉用气体过滤罐,其特征在于,所述延伸部内还设有连接件,用于连接所述过滤袋的底端。

4.根据权利要求2或3所述的单晶炉用气体过滤罐,其特征在于,还包括:

振动气缸,所述振动气缸固定在所述上封头外部;

活塞杆,所述活塞杆顶部穿过所述上封头连接所述振动气缸且底部连接所述悬挂梁,用于带动所述悬挂梁振动;

电磁阀,所述电磁阀连接所述振动气缸用于控制所述振动气缸进气/出气。

5.根据权利要求4所述的单晶炉用气体过滤罐,其特征在于,所述振动气缸共有三个,三个所述振动气缸围绕所述上封头中心对称设置。

6.根据权利要求1所述的单晶炉用气体过滤罐,其特征在于,所述延伸部的上下两端分别通过法兰结构与所述罐体、所述下封头连接。

7.根据权利要求1所述的单晶炉用气体过滤罐,其特征在于,所述罐体侧面还设有电控装置。

8.根据权利要求1所述的单晶炉用气体过滤罐,其特征在于,所述下封头侧面还设有可打开/关闭的除灰口,所述除灰口与所述进气口相对设置。

9.根据权利要求1所述的单晶炉用气体过滤罐,其特征在于,所述保养门共有两个,两个所述保养门相对应地设置于所述罐体的外部两侧。

10.根据权利要求1所述的单晶炉用气体过滤罐,其特征在于,所述罐体底部还设有三个脚轮,三个所述脚轮围绕所述下封头中心对称设置。

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