[实用新型]高低温关节式流道装置

说明书

本实用新型提供了一种高低温关节式流道装置，包括节流通道及其两端分别安装的第一连接组件和第二连接组件，所述节流通道包括若干相互平行设置的通道组件，所述通道组件包括外夹板及其中部套接的转板，且相邻两个外夹板通过转板相连接，所述外夹板包括相互平行且对称设置的第一分流块和第二分流块，转板位于第一分流块和第二分流块之间。本实用新型所述的高低温关节式流道装置，可以兼容高低温气体预温方式及高低温液体预温方式，根据工况需求即可以进行小弯曲半径的往复运动，也可以在平面上进行X、Y方向运动，支持运动范围大。

技术领域

本实用新型属于半导体行业高低温输送领域，尤其是涉及一种高低温关节式流道装置。

背景技术

在现今，电子元件于实际使用时，可能处于高低温环境，为确保电子元件的使用品质，于电子元件制作完成后，必须以测试设备的测试装置对电子元件进行热测或者冷测，以淘汰不良品。以电子元件冷测作业举例，由于电子元件必须降温至预设测试温度，方可进行冷测工作，在冷测过程中需要进行电子元件的预冷及温度控制，在预冷及控温的过程中，相关的组件需要运动，需要相关的输送装置，从而达到冷测目的。

现有技术的主要结构使用的是关节方式，在关节运动处对轴进行密封，连接件上打孔形成流道，关节比较长，导致弯曲半径幅度较大，往复运动效果差。通过不同连接件上流道孔的配合形成流道输送回路，从而达到高低温输送目的。由于连接件上的密封圈与轴的配合间隙较大，导致密封效果不理想，现有市场关节式流道弯曲半径较大，往复运动效果差，能够同时支持X、Y向运动范围比较小，密封效果不理想。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种高低温关节式流道装置，以解决现有关节式流道弯曲半径较大，往复运动效果差，以及连接件上的密封圈与轴的配合间隙较大，导致密封效果不理想的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种高低温关节式流道装置，包括节流通道及其两端分别安装的第一连接组件和第二连接组件，所述节流通道包括若干通道组件，若干通道组件相互平行设置或依次首尾相连接。

进一步的，所述节流通道包括依次首尾相连接的若干通道组件。

进一步的，所述第一连接组件和第二连接组件均为第一液流接头。

进一步的，所述节流通道包括结构相同且相互平行设置的若干节流组件，每个节流组件均包括依次首尾相连接的若干通道组件。

进一步的，所述节流通道包括两个相互平行设置的节流组件。

进一步的，所述第一连接组件是第二液流接头，所述两个节流组件的第一端分别安装一个第二液流接头，第二连接组件是第三液流接头，所述两个节流组件的第二端均安装至一个第三液流接头的一端。

进一步的，所述通道组件包括外夹板及其中部套接的转板，且相邻两个外夹板通过转板相连接，所述外夹板包括相互平行且对称设置的第一分流块和第二分流块，转板位于第一分流块和第二分流块之间。

进一步的，所述第一分流块和第二分流块的结构相同，第一分流块一侧分别设有第一盲孔和第二盲孔，第一分流块内部设有第一空腔，所述第一盲孔、第一空腔和第二盲孔依次贯通。

进一步的，所述转板包括合流块、第一密封组件、第二密封组件、第一空心管和第二空心管，所述合流块的两端分别设有第一通孔和第二通孔，合流块内部设有第二空腔，所述第一通孔内套接第一空心管，第二通孔内套接第二空心管，第一空心管两端分别通过一个第一密封组件套接第二盲孔内，第二空心管两端分别通过一个第二密封组件套接至第一盲孔内，第一空心管内部、第二空腔、第二空心管内部、第一盲孔、第一空腔和第二盲孔依次贯通。