[实用新型]高低温关节式流道装置有效
| 申请号: | 202120098754.0 | 申请日: | 2021-01-14 |
| 公开(公告)号: | CN214094020U | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
| 发明(设计)人: | 杨文宝 | 申请(专利权)人: | 天津金海通半导体设备股份有限公司 |
| 主分类号: | F17D1/08 | 分类号: | F17D1/08 |
| 代理公司: | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人: | 苏冲 |
| 地址: | 300384 天津市滨海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 低温 关节 式流道 装置 | ||
1.高低温关节式流道装置,其特征在于:包括节流通道及其两端分别安装的第一连接组件和第二连接组件,所述节流通道包括若干通道组件,若干通道组件相互平行设置或依次首尾相连接。
2.根据权利要求1所述的高低温关节式流道装置,其特征在于:第一连接组件和第二连接组件均为第一液流接头。
3.根据权利要求1所述的高低温关节式流道装置,其特征在于:所述节流通道包括结构相同且相互平行设置的若干节流组件,每个节流组件均包括依次首尾相连接的若干通道组件。
4.根据权利要求3所述的高低温关节式流道装置,其特征在于:所述节流通道包括两个相互平行设置的节流组件。
5.根据权利要求4所述的高低温关节式流道装置,其特征在于:第一连接组件是第二液流接头,所述两个节流组件的第一端分别安装一个第二液流接头,第二连接组件是第三液流接头,所述两个节流组件的第二端均安装至一个第三液流接头的一端。
6.根据权利要求1-5任一所述的高低温关节式流道装置,其特征在于:所述通道组件包括外夹板及其中部套接的转板(3),且相邻两个外夹板通过转板(3)相连接,所述外夹板包括相互平行且对称设置的第一分流块(1)和第二分流块(2),转板(3)位于第一分流块和第二分流块(2)之间。
7.根据权利要求6所述的高低温关节式流道装置,其特征在于:第一分流块(1)和第二分流块(2)的结构相同,第一分流块(1)一侧分别设有第一盲孔(101)和第二盲孔(102),第一分流块(1)内部设有第一空腔(103),所述第一盲孔(101)、第一空腔(103)和第二盲孔(102)依次贯通。
8.根据权利要求7所述的高低温关节式流道装置,其特征在于:转板(3)包括合流块(31)、第一密封组件、第二密封组件、第一空心管(36)和第二空心管(37),所述合流块(31)的两端分别设有第一通孔和第二通孔,合流块(31)内部设有第二空腔(38),所述第一通孔内套接第一空心管(36),第二通孔内套接第二空心管(37),第一空心管(36)两端分别通过一个第一密封组件套接第二盲孔(102)内,第二空心管(37)两端分别通过一个第二密封组件套接至第一盲孔(101)内,第一空心管(36)内部、第二空腔(38)、第二空心管(37)内部、第一盲孔(101)、第一空腔(103)和第二盲孔(102)依次贯通。
9.根据权利要求8所述的高低温关节式流道装置,其特征在于:第一密封组件包括第一空心管(36)外围分别套接的第一密封圈(32)、垫片(33)和第二密封圈(34),垫片(33)位于第一密封圈(32)和第二密封圈(34)之间,第一密封圈(32)位于位于第一通孔内,垫片(33)位于合流块(31)与第一分流块之间,第二密封圈(34)位于第二盲孔(102)内。
10.根据权利要求8所述的高低温关节式流道装置,其特征在于:第二密封组件包括第二空心管(37)外围套接的第三密封圈(35),第三密封圈(35)位于第二通孔内。
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