[实用新型]一种探针基板组合件

权利要求书

1.一种探针基板组合件，包括探针基板组合件包括排列部（400）、加强基板（500）、与加强基板（500）的一表面连接的第一硅基板阵列（100）以及固定于所述加强基板（500）一表面边缘以包围第一硅基板阵列（100）的第一排列导引部（210），其特征在于：所述第一硅基板阵列（100）包括第一硅基板列（110）和第二硅基板列（120），第一硅基板列（110）和第二硅基板列（120）分别由多个分割片排成一列连接在一起，即两个第一分割片（110a）、第二分割片（110b）、第三分割片（120a）、第四分割片（120b）；

所述各第一分割片（110a）、第二分割片（110b）、第三分割片（120a）、第四分割片（120b）上形成垂直穿透的接触孔（300），所述加强基板（500）上形成多个开口区域（510）；

所述第一分割片（110a）、第二分割片（110b）、第三分割片（120a）、第四分割片（120b）彼此接合的侧面形成凹凸连接的排列部（400），所述第一硅基板列（110）的两个第一分割片（110a）、第二分割片（110b）形成Y轴方向的第一接合部（130a），所述第二硅基板列（120）的两个第三分割片（120a）、第四分割片（120b）形成Y轴方向的第二接合部（130b）两个所述第一硅基板列（110）、第二硅基板列（120）连接以形成在X轴方向延伸的第三接合部（130c）；

所述第一硅基板阵列（100）边缘的第一排列导引部（210）限定接合的第一分割片（110a）、第二分割片（110b）、第三分割片（120a）、第四分割片（120b）外边界；

所述第一分割片（110a）、第二分割片（110b）、第三分割片（120a）、第四分割片（120b）形成第二硅基板阵列（600）；

所述排列部（400)包括第一凹凸部（410）和第二凹凸部（420），且第一凹凸部（410）和第二凹凸部（420）形状不同，所述第一凹凸部（410）的底端设置有第一凸出部（411a），所述第一凸出部（411a）末端形成锥形部（412），所述第一凸出部（411a）的下方设置有插入凸出部（411b）；

所述第二凹凸部（420）上端设置有凸出凹陷部（422），所述凸出凹陷部（422）包括第二凸出部（422a）以及插入第二凸出部（422a）的凹陷部（422b）；

所述第一硅基板列（110）的外表面设置有硅晶片（111），所述硅晶片（111）的外表面形成第一光刻胶层（112）与第二光刻胶层（112a），所述第一分割片（110a）的外表面开设有若干个接触孔阵列（116），所述接触孔阵列（116）的外表面设置有掩模（114），所述硅晶片（111）上沉积绝缘薄膜（118），如二氧化硅膜、氮化硅膜等以形成分割片，所述加强基板（500）的外表面开设有若干个开口区域（510）。

2.根据权利要求1所述的一种探针基板组合件，其特征在于：所述第一分割片（110a）、第二分割片（110b）、第三分割片（120a）、第四分割片（120b）用硅材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种探针基板组合件，其特征在于：所述排列部（400）沿着第一分割片（110a）、第二分割片（110b）、第三分割片（120a）、第四分割片（120b）的边缘形成。

4.根据权利要求1所述的一种探针基板组合件，其特征在于：所述第一接合部（130a）和第二接合部（130b）在Y轴方向相互错开。

5.根据权利要求1所述的一种探针基板组合件，其特征在于：所述第一凸出部（411a）与插入凸出部（411b）相匹配，所述第二凸出部（422a）与凹陷部（422b）相匹配。

6.根据权利要求1所述的一种探针基板组合件，其特征在于：所述锥形部（412）包括上锥形部（412a）和下锥形部（412b）。

7.根据权利要求1所述的一种探针基板组合件，其特征在于：所述第一硅基板阵列（100）、第二硅基板阵列（600）的多个接触孔阵列（116）对应一个开口区域（510）。