[发明专利]探针盘、晶圆检测卡、晶圆测试系统及晶圆测试方法

权利要求书

1.一种探针盘，所述探针盘用于对待测试晶圆进行针位检测，其特征在于，包括：

一个或多个定位孔，所述定位孔用于确定所述待测试晶圆上的第一预设针位；

探针，所述探针用于与所述待测试晶圆上的第二预设针位连接。

2.根据权利要求1所述的探针盘，其特征在于，所述探针盘包括至少2组定位孔，不同组的定位孔用于确定所述待测试晶圆上不同位置的第一预设针位。

3.根据权利要求1所述的探针盘，其特征在于，所述探针盘包括观测板和探针板，所述定位孔位于所述观测板上，所述探针位于所述探针板上；

所述观测板还包括观测窗，所述观测窗用于确定所述待测试晶圆的观测信息。

4.根据权利要求3所述的探针盘，其特征在于，所述探针盘包括至少2个观测板，不同探测板的观测窗用于确定所述待测试晶圆上不同位置的观测信息。

5.根据权利要求3或4所述的探针盘，其特征在于，所述观测板可拆卸地连接于所述探针盘，或者，所述观测板与所述探针盘一体成型。

6.一种晶圆检测卡，其特征在于，包括基板和如权利要求1至5任一项所述的探针盘；

所述基板上设置有控制模块、信号生成模块和信号采集模块；

所述控制模块用于控制对待测试晶圆的测试以及所述信号生成模块和信号采集模块的运行；

信号生成模块用于生成测试所需的测试信号，并将所述测试信号通过所述探针传输给所述待测试晶圆；

信号采集模块，用于采集所述待测试晶圆的反馈信号。

7.一种晶圆测试系统，其特征在于，所述晶圆测试系统包括：

如权利要求6所述的晶圆检测卡；

晶圆测试台，所述晶圆测试台用于承载待测试晶圆；

控制终端，所述控制终端与所述晶圆测试台连接，所述控制终端还与所述晶圆检测卡连接，以通过所述控制模块控制所述晶圆检测卡的测试，并接收所述信号采集模块采集的反馈信号。

8.根据权利要求7所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述晶圆测试系统还包括图像采集设备，用于采集所述定位孔与所述第一预设针位之间的第一位置关系，并将所述第一位置关系发送至所述控制终端；

所述控制终端还用于根据所述第一位置关系和接收到的所述反馈信号调整所述待测试晶圆在所述晶圆测试台上的位置。

9.根据权利要求8所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述探针盘包括至少2组定位孔，所述图像采集设备用于采集不同组定位孔与所述待测试晶圆上不同位置的第一预设针位的第二位置关系，并将所述第二位置关系发送至所述控制终端；

所述控制终端还用于根据所述第二位置关系确定所述待测试晶圆和所述探针盘之间的夹角，并根据确定的夹角调整所述待测试晶圆在所述晶圆测试台上的位置。

10.根据权利要求8所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述探针盘包括至少2个观测板，所述图像采集设备用于采集不同观测板的观测窗与所述待测试晶圆上不同位置的观测信息之间的第三位置关系，并将所述第三位置关系发送至所述控制终端；

所述控制终端用于根据所述第三位置关系确定所述待测试晶圆和所述探针盘之间的夹角，并根据确定的夹角调整所述待测试晶圆在所述晶圆测试台上的位置。

11.一种基于权利要求7至10任一项所述晶圆测试系统执行的晶圆测试方法，其特征在于，所述方法包括：

将待测试晶圆放置于晶圆测试台上；

将控制终端和所述晶圆测试台连接，并将所述控制终端与如权利要求6所述的晶圆检测卡连接；

所述控制终端通过所述晶圆检测卡上的控制模块控制所述晶圆检测卡的测试，并接收所述晶圆检测卡上的信号采集模块采集的反馈信号。