[发明专利]基于Modbus的混合气体自动生成采集系统及方法

权利要求书

1.一种基于Modbus的混合气体自动生成采集系统，其特征在于，包括上位机、流量部、传感部和外设部，其中，

所述上位机通过总线与流量部和传感部分别连接；

所述流量部包括电源和流量计组，电源为流量计组供电；

所述传感部包括气体传感器和电路采集板；

所述外设部包括气体气缸、混气缸和废气处理装置；

其中，气体气缸将若干路气体接入流量计组的进气口，流量计组的出气口接入混气缸的进气口，混气缸的出气口连接气体传感器，气体传感器的输出采集信号给电路采集板，电路采集板的输出连接上位机，经过气体传感器的气体排出到废气处理装置。

2.根据权利要求1所述的一种基于Modbus的混合气体自动生成采集系统，其特征在于，所述总线为485总线。

3.根据权利要求1所述的一种基于Modbus的混合气体自动生成采集系统，其特征在于，所述气体气缸包括5路。

4.根据权利要求1所述的一种基于Modbus的混合气体自动生成采集系统，其特征在于，系统的通信协议采用Modbus的RTU通信。

5.根据权利要求4所述的一种基于Modbus的混合气体自动生成采集系统，其特征在于，所述通信协议的通信参数为：波特率9600，从机地址位一个字节，功能码一个字节，寄存器地址两个字节，数据位两个字节，CRC校验位2字节。

6.根据权利要求1所述的一种基于Modbus的混合气体自动生成采集系统，其特征在于，所述外设部还包括温控仪。

7.根据权利要求1所述的一种基于Modbus的混合气体自动生成采集系统，其特征在于，所述外设部还包括气体温升腔。

8.一种基于Modbus的混合气体自动生成采集方法，其特征在于，采用权利要求1-7之一所述的系统，包括以下步骤：

S1，上位机通过485总线按照Modbus协议向流量部和传感部发送命令，进行上传下达；

S2，气体流向流量计组，流量计组中的各个流量计根据收到上位机发送的流速指令，打开阀门，控制流速，同时流量计也会通过总线返回一个指令给上位机确认是否发送成功，气体再进入混气缸进行充分混合，以达到混合气体效果；

S3，混气完成后，气体再流入气体传感器，气体传感器检测到气体后，发生氧化还原反应，产生电流，后经电路采集板的AD电压采集，通过总线传输到上位机；

S4，气体流经气体传感器后，再流入废气处理装置进行废气处理。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，开启工作后，流量计组自动发送500sccm空气。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，将所需的流量提前写入一个文本文档中，文档中按气体顺序写，每种气体用制表符隔开，结尾和开头无空行。