[发明专利]曲面贴合光栅偏振膜片及其制造方法与金属栅模具

权利要求书

1.一种曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，适用于贴于曲面，其特征在于，包含有下列步骤：

提供金属栅模具，所述金属栅模具上具有复数个沟槽，每个所述沟槽与所述金属栅模具的表面形成夹角，所述夹角至少具有两种以上不同的数值；

依据所述沟槽的所述夹角，依序于所述沟槽内形成复数个栅体；

于所述金属栅模具的所述表面形成连接所述栅体的基板；及

将所述基板连同所述栅体自所述金属栅模具剥离，以获得所述曲面贴合光栅偏振膜片；

其中提供所述金属栅模具的步骤，包含有：

提供基材，并于其表面上涂布光阻材料；

藉由曝光显影方式于所述光阻材料上定义出所述栅体的位置、宽度与长度；

以所述夹角依序蚀刻所述基材以形成所述沟槽；及

去除所述光阻材料形成所述金属栅模具；

其中所述夹角藉由下列步骤取得：

取得所述曲面的轮廓；

藉由所述轮廓上对应于所述栅体的位置的法线，来计算所述法线与入射光的夹角；及

转换所述入射光的夹角而获取所述沟槽的夹角。

2.如权利要求1所述的曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，其特征在于，其中所述基材以离子蚀刻的方式来形成所述沟槽。

3.如权利要求1所述的曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，其特征在于，其中所述基材的材质为硅、化合物半导体、玻璃或塑料。

4.如权利要求1所述的曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，其特征在于，其中依据所述沟槽的所述夹角，于所述沟槽内形成复数个栅体的步骤中，采用电镀或是沉积的方式来形成所述栅体。

5.如权利要求4所述的曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，其特征在于，其中所述电镀的方式藉由蒸镀或溅镀的方式来进行。

6.如权利要求4所述的曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，其特征在于，其中所述沉积的方式藉由电化学沉积的方式来进行。

7.如权利要求1所述的曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，其特征在于，其中所述栅体的材质为铝、铁、金或银。

8.如权利要求1所述的曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，其特征在于，其中所述栅体内具有奈米材料或量子点。

9.如权利要求1所述的曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，其特征在于，其中所述栅体末端更形成有抗反射材料。

10.如权利要求9所述的曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，其特征在于，其中所述抗反射材料为介电材料。

11.如权利要求1所述的曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，其特征在于，其中于所述金属栅模具的表面形成所述基板的步骤前，更包含有以光微影蚀刻来定义出所述栅体的步骤。

12.如权利要求1所述的曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，其特征在于，其中所述基板为光硬化高分子材料所构成。

13.如权利要求12所述的曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，其特征在于，其中于将所述基板连同所述栅体自所述金属栅模具剥离的步骤前，更包含将所述基板经过紫外光硬化。

14.如权利要求1所述的曲面贴合光栅偏振膜片的制造方法，其特征在于，其中将所述基板连同所述栅体自所述金属栅模具剥离，以获得所述曲面贴合光栅偏振膜片的步骤中，采用真空吸引的方式将所述基板连同所述栅体取出。

15.一种曲面贴合光栅偏振膜片，适用于贴于曲面，其特征在于，其利用如权利要求1所述的制造方法所制造。