[发明专利]预估镀膜速率获取系统

权利要求书

1.一种预估镀膜速率获取系统，其特征在于，包括：通信连接的数据测量装置、日志数据库和服务器，所述服务器包括处理器和存储器，所述存储器中存储有计算机程序，所述日志数据库的第i条记录包括(i，w1_i，w2_i，Y_i)，w1_i为第i个采样周期对应的实测镀膜速率修正系数，w2_i为第i个采样周期对应的预估镀膜速率修正系数，Y_i为第i个采样周期对应的预估镀膜速率i的取值为1到n-1，n为采样周期的数量；所述数据测量装置用于按照预设采样周期获取实测镀膜速率并发送给所述处理器；

其中，在接收到采样周期n测量的实测镀膜速率X_n时，所述处理器执行计算机程序以实现如下步骤：

S100，从日志数据库中获取w1_n-1、w2_n-1和Y_n-1；

S200，基于X_n和获取的w1_n-1、w2_n-1和Y_n-1确定Y_n；

S300，将获取的Y_n存储到日志数据库中；

S400，设置n＝n+1。

2.根据权利要求1所述的预估镀膜速率获取系统，其特征在于，还包括配置文件，所述配置文件中存储有预设的数据测量装置的测量误差Q；

所述日志数据库中的第i条记录还包括P_i，P_i为第i个采样周期对应的实测镀膜速率修正误差，与Q相关。

3.根据权利要求2所述的预估镀膜速率获取系统，其特征在于，在S200之后还包括：

S210，基于Q和P_n-1获取P_n；

在S300之后还包括：

S310，将获取的P_n存储到日志数据库中。

4.根据权利要求1所述的预估镀膜速率获取系统，其特征在于，Y_n与X_n正相关。

5.根据权利要求2所述的预估镀膜速率获取系统，其特征在于，Y_n还与Y_n-1正相关。

6.根据权利要求5所述的预估镀膜速率获取系统，其特征在于，Y_n＝w1_n-1*X_n+w2_n-1*Y_n-1。

7.根据权利要求1所述的预估镀膜速率获取系统，其特征在于，Y₀＝0，P₀＝1。

8.根据权利要求1至7任一项所述的预估镀膜速率获取系统，其特征在于，w1_i为第一预设值a，w2_i为第二预设值b，a远小于b，且a+b＝1。

9.根据权利要求1至3任一项所述的预估镀膜速率获取系统，其特征在于，w1_i和w2_i基于数据测量装置的测量误差Q和P_i-1确定，并且，w1_i+w2_i＝1。

10.根据权利要求9所述的预估镀膜速率获取系统，其特征在于，w1_i＝P_i-1(P_i-1+Q)^-1，w2_i＝1-w1_i。