[发明专利]一种高纯度耐高温低羟基石英玻璃的熔炼脱羟工艺在审
| 申请号： | 202111388179.9 | 申请日： | 2021-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN114057381A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 万沂江 | 申请（专利权）人： | 新沂市东方石英玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B23/047 |
| 代理公司： | 南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321 | 代理人： | 周姗姗 |
| 地址： | 221400 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纯度 耐高温 羟基 石英玻璃 熔炼 工艺 | ||
1.一种高纯度耐高温低羟基石英玻璃的熔炼脱羟工艺，其特征在于：具体制作方法包括以下步骤，
S1，采用连熔法将原料石英粉混合物通过连熔炉熔制成直径100mm的石英玻璃管棒后，送入真空脱羟炉；
S2，真空脱羟炉真空度控制在7Pa，然后升温至1280℃，保持恒温4-5小时，脱除石英玻璃棒内亚稳态羟基；
S3，脱羟石英玻璃管棒放入连熔炉中，温度控制在1800-2200℃，以0.7m/s速度熔拉成直径20mm石英玻璃管棒。
2.根据权利要求1所述的一种高纯度耐高温低羟基石英玻璃的熔炼脱羟工艺，其特征在于：步骤S1中，所述石英粉混合物中包括有95％含量的石英砂和5％的金属粉末。
3.根据权利要求2所述的一种高纯度耐高温低羟基石英玻璃的熔炼脱羟工艺，其特征在于：还包括，所述金属粉末组成：钨11％，钠15％，钴21％，钡26％，锆27％。
4.根据权利要求1所述的一种高纯度耐高温低羟基石英玻璃的熔炼脱羟工艺，其特征在于：步骤S3中，还包括有，脱羟石英玻璃管棒放入连熔炉中，温度控制在2200℃，以0.7m/s速度熔拉成直径20mm石英玻璃管棒。
5.根据权利要求1所述的一种高纯度耐高温低羟基石英玻璃的熔炼脱羟工艺，其特征在于：步骤S3中，还包括有，脱羟石英玻璃管棒放入连熔炉中，温度控制在1800℃，以0.7m/s速度熔拉成直径20mm石英玻璃管棒。
6.根据权利要求1所述的一种高纯度耐高温低羟基石英玻璃的熔炼脱羟工艺，其特征在于：步骤S1中，还包括有高纯石英砂制备，包括以下方法步骤，
L1，首先将砂石进行两次水洗，水洗过后进行加热熔炼；
L2，两次破碎，磁选除杂、静电除杂；
L3，超声清洗除杂、研磨；
L4，二级静电提纯，得高纯度石英砂。
7.根据权利要求1所述的一种高纯度耐高温低羟基石英玻璃的熔炼脱羟工艺，其特征在于：步骤S3中，在加热过程中，注入惰性气体的保护下进行高温熔融，所述惰性气体选择氖气或氩气中的一种。
8.根据权利要求1所述的一种高纯度耐高温低羟基石英玻璃的熔炼脱羟工艺，其特征在于：步骤S3中，选择氖气注入流量为110～130L/min。
9.根据权利要求1所述的一种高纯度耐高温低羟基石英玻璃的熔炼脱羟工艺，其特征在于：步骤S3中，选择氩气注入流量为70～90L/min。
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