[发明专利]一种掩膜板在审
| 申请号: | 202111294968.6 | 申请日: | 2021-11-03 |
| 公开(公告)号: | CN114107892A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
| 发明(设计)人: | 李咏梅 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50;H01L51/56 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 熊恒定 |
| 地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 掩膜板 | ||
本发明涉及一种掩膜板。本发明的掩膜板包括:框架、至少一个掩膜条以及至少一个支撑组件。本发明通过在框架上设置支撑组件,利用支撑组件支撑掩膜条弯曲的位置,减少掩膜条与玻璃基板之间的间距,从而达到改善产品阴影的效果,提升产品品质及性能。本发明的支撑组件内设有转筒,转筒上设有限位槽,第一凹槽的侧壁上设有限位块,可以对支撑杆进行角度调节与固定;本发明的支撑杆为伸缩杆,可以对支撑杆的长度进行调节;由此可以根据不同生产型号调整支撑组件的设置位置,调节支撑杆对掩膜条的支撑点,无需持续性资金投入。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种掩膜板。
背景技术
有机发光二极管(英文全称:Organic Light Emitting Diode,简称OLED)是一种利用多层有机薄膜结构形成的电致发光器件。OLED的容易制作、驱动电压低、产品功耗低、响应速度快、视角广、清晰度高、宽温度特性、易于实现柔性显示、成品质量轻、厚度薄等主要特征,使得OLED在满足平面显示器的应用上显得非常突出,一致被公认为是下一代显示的主流技术。
目前,OLED的生产中较为成熟的技术为真空蒸镀技术。即在制作过程中,将玻璃基板贴合在掩膜板上,放置于蒸发源上方,加热有机材料,使有机材料穿过掩膜板沉积在玻璃基板上,形成特定的图案,这一过程的实现与高精度的掩膜板具有密切的关系。
目前大尺寸的蒸镀技术中常使用的开口掩膜板(Open Mask)是根据生产面板的规格型号,将掩膜条张网焊接在框架上,遮盖非蒸镀区域,进行多种尺寸的产品制程。
如图1所示,焊接的掩膜条100’会受自身重力影响而产生下垂,导致其与玻璃基板200’间的间距过大,导致制备的产品出现阴影。虽然目前工艺中有使用夹子内加入磁铁的方式以减少掩膜条100’的弯曲量,但对弯曲量较大的掩膜条100’及非对称型产品结构仍难达到改善需求。
发明内容
本发明的目的是提供一种掩膜板,其能够解决现有技术中掩膜条下垂导致制备的产品出现阴影等问题。
为了解决上述问题,本发明提供了一种掩膜板,其包括:框架、至少一个掩膜条以及至少一个支撑组件;每一所述支撑组件均与一个所述掩膜条对应设置;每一所述支撑组件均包括:支撑杆,其底端连接至所述框架,其顶端支撑所述掩膜条。
进一步的,所述支撑杆为伸缩杆。
进一步的,每一所述支撑组件的支撑杆的最大宽度均小于其支撑的所述掩膜条的宽度。
进一步的,所述框架的至少一个侧框上设有至少一个第一凹槽,所述第一凹槽与所述支撑组件一一对应。
进一步的,每一所述支撑组件还包括:转轴,其可转动式连接于一个所述侧框的一个所述第一凹槽内,且平行于该所述侧框;转筒,固定套设于所述转轴外壁;以及第二凹槽,设置于所述转筒的侧面上;其中,所述支撑杆可拆卸式连接于所述第二凹槽。
进一步的,所述第二凹槽的内侧壁上具有第一螺纹,所述支撑杆的底端外侧壁上具有与所述第一螺纹相互吻合的第二螺纹。
进一步的,每一所述支撑组件还包括:至少一个限位块,设置于所述第一凹槽的侧壁上;以及多个限位槽,设置于所述转筒的至少一个底面上。
进一步的,所述转筒的直径小于所述框架的厚度。
进一步的,所述框架的底面低于所述转筒的最低点;所述框架的顶面高于所述转筒的最高点。
进一步的,所述转轴的中心轴与所述转筒的中心轴相互重合。
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