[发明专利]一种掩膜板在审
| 申请号: | 202111294968.6 | 申请日: | 2021-11-03 |
| 公开(公告)号: | CN114107892A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
| 发明(设计)人: | 李咏梅 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50;H01L51/56 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 熊恒定 |
| 地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 掩膜板 | ||
1.一种掩膜板,其特征在于,包括:框架、至少一个掩膜条以及至少一个支撑组件;
每一所述支撑组件均与一个所述掩膜条对应设置;
每一所述支撑组件均包括:
支撑杆,其底端连接至所述框架,其顶端支撑所述掩膜条。
2.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述支撑杆为伸缩杆。
3.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,每一所述支撑组件的支撑杆的最大宽度均小于其支撑的所述掩膜条的宽度。
4.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述框架的至少一个侧框上设有至少一个第一凹槽,所述第一凹槽与所述支撑组件一一对应。
5.根据权利要求4所述的掩膜板,其特征在于,每一所述支撑组件还包括:
转轴,其可转动式连接于一个所述侧框的一个所述第一凹槽内,且平行于该所述侧框;
转筒,固定套设于所述转轴外壁;以及
第二凹槽,设置于所述转筒的侧面上;
其中,所述支撑杆可拆卸式连接于所述第二凹槽。
6.根据权利要求5所述的掩膜板,其特征在于,所述第二凹槽的内侧壁上具有第一螺纹,所述支撑杆的底端外侧壁上具有与所述第一螺纹相互吻合的第二螺纹。
7.根据权利要求5所述的掩膜板,其特征在于,每一所述支撑组件还包括:
至少一个限位块,设置于所述第一凹槽的侧壁上;以及
多个限位槽,设置于所述转筒的至少一个底面上。
8.根据权利要求5所述的掩膜板,其特征在于,所述转筒的直径小于所述框架的厚度。
9.根据权利要求5所述的掩膜板,其特征在于,所述框架的底面低于所述转筒的最低点;所述框架的顶面高于所述转筒的最高点。
10.根据权利要求5所述的掩膜板,其特征在于,所述转轴的中心轴与所述转筒的中心轴相互重合。
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