[发明专利]负压蒸汽发生器在审
| 申请号： | 202111242224.X | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN114183740A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 郭卫强;杨亚东;张景红;翁鹏斌 | 申请（专利权）人： | 昆山新莱洁净应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F22B3/04 | 分类号： | F22B3/04;F22B35/00;F22B37/38;F22D1/00 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 王忠浩 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸汽 发生器 | ||
1.一种负压蒸汽发生器，包括前端管路组件、加热组件、质量流量计、出液管路、外壳组件、PLC控制组件、用于产生负压的真空装置，其特征在于：
所述前端管路组件包括连接头模块、进液管路、第一隔离阀，所述连接头模块内设置有用于形成喷雾的喷雾组件，所述喷雾组件与所述进液管路连通，所述进液管路通过所述第一隔离阀与加热组件连通；
所述加热组件内设置有与PLC控制组件建立连接的高度液位计、加热组件、温度开关，所述加热组件与所述温度开关连接；
所述加热组件的输出端通过所述质量流量计与所述出液管路连接，所述前端管路组件、加热组件、质量流量计、PLC控制组件安装于所述外壳组件上，所述出液管路与所述真空装置连通。
2.如权利要求1所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述前端管路组件还包括用于将过量液体或水汽回流的回流管路，所述回流管路与所述加热组件连通。
3.如权利要求2所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述前端管路组件还包括回流补液管路，所述喷雾组件与所述回流补液管路连通。
4.如权利要求3所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述前端管路组件还包括第二隔离阀，所述回流补液管路通过所述第二隔离阀与加热组件连通。
5.如权利要求3所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述前端管路组件还包括主接头，所述主接头与所述连接头模块连接。
6.如权利要求1所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述加热组件为加热带。
7.如权利要求1所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述加热组件的底部设置有U型座，所述加热组件固定于所述U型座上，所述U型座固定于所述外壳组件。
8.如权利要求1所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述高度液位计包括用于控制低液位的第一液位计、用于控制高液位的第二流量计，所述第二流量计、第一液位计分别安装于所述加热组件的上部、下部。
9.如权利要求1所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述加热组件为加热罐，所述加热组件内设置有温度传感器，所述温度传感器与所述PLC控制组件连接。
10.如权利要求1所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述质量流量计为MFC质量流量计。
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