[发明专利]用于极低温、超高真空环境的紧凑型压电步进旋转装置

权利要求书

1.一种用于极低温、超高真空环境的紧凑型步进旋转装置，包括压电陶瓷元件和摩擦件，所述压电陶瓷元件在发生切向形变时绕旋转轴对所述摩擦件施加旋转驱动力。

2.如权利要求1所述的紧凑型步进旋转装置，其中，所述紧凑型步进旋转装置还包括轴承，所述轴承与所述摩擦件构成一整体件，优选地，所述轴承是用氧化锆制成的。

3.如权利要求2所述的紧凑型步进旋转装置，其中，所述紧凑型步进旋转装置还包括连接轴和底座，所述连接轴与所述轴承的上表面连接，并穿过所述轴承、摩擦件和压电陶瓷元件而与所述底座连接。

4.如权利要求3所述的紧凑型步进旋转装置，其中，所述连接轴与所述底座拥有相同角度的斜面以防止两者之间的相对转动。

5.如权利要求1所述的紧凑型步进旋转装置，进一步包括压电陶瓷元件连接件，用于使多个压电陶瓷元件组成所述压电陶瓷元件。

6.如权利要求1所述的紧凑型步进旋转装置，进一步包括弹性件，所述弹性件连接在所述底座上，向所述压电陶瓷元件施加预压力。

7.如权利要求6所述的紧凑型步进旋转装置，其中，所述弹性件通过至少一个间隔件而与所述压电陶瓷元件间隔开，并限定所述压电陶瓷元件在垂直于轴方向的自由度。

8.如权利要求1所述的紧凑型步进旋转装置，进一步包括角度获取装置，用于确定所述推力轴承的旋转角度。

9.如权利要求8所述的紧凑型步进旋转装置，其中，所述角度获取装置包括电刷和电阻片，所述电刷可在所述电阻片上滑动以获取所述推力轴承的旋转角度。

10.如权利要求9所述的紧凑型步进旋转装置，进一步包括盖板，其中，所述电阻片固定在所述盖板上。

11.如权利要求10所述的紧凑型步进旋转装置，进一步包括外壳，其中，所述外壳与所述盖板相连接。