[发明专利]一种薄膜应力仪自动调平装置

权利要求书

1.一种薄膜应力仪自动调平装置，其特征在于，包括晶圆载台、镜面晶圆、激光光源、位置传感器、控制器和处理器；所述激光光源的光束照射到镜面晶圆表面，并通过光路反射到所述位置传感器受光面；所述镜面晶圆设置于所述晶圆载台上；所述自动调平装置的执行方法包括：

S1，所述控制器控制所述激光光源在水平方向横移，实时采集所述位置传感器的数据并传输给所述处理器；

S2，所述处理器根据接收到的数据计算所述晶圆载台在激光光源起始点与结束点处的高度位置差Δh并传输给所述控制器；

S3，所述控制器根据所述高度位置差Δh调整晶圆载台的水平度使得所述高度位置差Δh的绝对值不大于水平误差阈值。

2.根据权利要求1所述的自动调平装置，其特征在于，步骤S3包括：

S31，所述控制器根据所述高度位置差Δh调整所述晶圆载台的水平度；

S32，重新执行步骤S1-S2；

循环执行S31-S32，直至所述高度位置差Δh的绝对值不大于水平误差阈值。

3.根据权利要求1所述的自动调平装置，其特征在于，在步骤S3之后，所述方法还包括：

重复执行步骤S1-S2不少于10次；

若任意两次所述高度位置差Δh的数据偏差不大于偏差率，则结束调整；否则重新执行步骤S1-S3。

4.根据权利要求1所述的自动调平装置，其特征在于，所述装置还包括横移模块，所述激光光源安装于所述横移模块上，所述控制器通过所述横移模块控制所述激光光源在水平方向横移。

5.根据权利要求1所述的自动调平装置，其特征在于，所述装置还包括与所述晶圆载台连接的载台高低调整模块，所述控制器通过所述载台高低调整模块调整所述晶圆载台的水平度。

6.根据权利要求1所述的自动调平装置，其特征在于，所述装置还包括折射镜，所述激光光源的光束经镜面晶圆反射到所述折射镜，并由所述折射镜折射到所述位置传感器受光面。

7.根据权利要求1所述的自动调平装置，其特征在于，所述水平误差阈值为50μm。

8.根据权利要求3所述的自动调平装置，其特征在于，所述偏差率为0.5％。

9.根据权利要求1所述的自动调平装置，其特征在于，所述位置传感器为光感元件，用于将接收到的光信号转换为电信号。