[发明专利]一种半导体制造用超高纯钽环的加工夹具及其方法和用途

权利要求书

1.一种半导体制造用超高纯钽环的加工夹具，其特征在于，所述加工夹具包括撑开组件和与所述撑开组件机械连接的调节组件，所述撑开组件包括卡盘和卡盘爪，所述卡盘爪内撑所述卡盘，待加工工件套设于所述卡盘的外周；所述调节组件包括牙套和螺纹杆，所述牙套的一端与所述卡盘爪远离所述卡盘的一端紧贴，所述牙套远离所述卡盘爪的一端与所述螺纹杆螺纹连接；

转动所述螺纹杆带动所述牙套运动，从而调控所述卡盘爪对所述卡盘的撑开程度，以适应所述加工工件的尺寸。

2.根据权利要求1所述的加工夹具，其特征在于，所述卡盘的侧壁上开设有调节缝隙，所述调节缝隙用于调节所述卡盘的尺寸；

优选地，所述卡盘的外表面上设置有至少两个锁紧组件，所述锁紧组件用于将所述加工工件固定于所述卡盘的外表面；

优选地，所述卡盘靠近所述调节组件的一端滑动连接有长盘，所述长盘上滑动连接有所述卡盘爪，所述长盘与牙套滑动连接；

优选地，所述卡盘爪紧贴所述牙套的一端为斜面。

3.根据权利要求1或2所述的加工夹具，其特征在于，所述牙套靠近所述卡盘爪的一端为斜面，所述卡盘爪和牙套的斜面相匹配。

4.根据权利要求1-3任一项所述的加工夹具，其特征在于，所述牙套的内部设置有细牙槽，所述螺纹杆表面设置有细牙，所述细牙槽和细牙相互匹配，将所述螺纹杆插入所述牙套的内部，调控所述牙套的运动。

5.根据权利要求2所述的加工夹具，其特征在于，所述加工夹具还包括加工组件，所述加工组件与撑开组件通过连接组件进行连接；

优选地，所述连接组件包括固定柱和连接柱，所述固定柱设置于所述加工组件上，所述固定柱远离所述加工组件的一端可拆卸地安装有连接柱，所述连接柱与长盘固定连接；

优选地，所述螺纹杆远离所述牙套的一端依次贯穿所述连接组件和加工组件，并且在所述加工组件的内部设置有螺纹杆固定套，所述螺纹杆固定套将所述螺纹杆固定于所述加工组件的内部。

6.根据权利要求5所述的加工夹具，其特征在于，所述连接柱远离所述固定柱的一端外表面上固定安装有至少两个安装块，所述安装块远离所述固定柱的一端开设有T型滑槽，所述T型滑槽内滑动安装有T型滑块，所述长盘固定安装在所述T型滑块上。

7.根据权利要求5或6所述的加工夹具，其特征在于，所述锁紧组件包括固定套，所述固定套固定于所述卡盘远离所述连接柱的一端，所述固定套的两端均开设有丝杆孔；

优选地，所述固定套靠近所述卡盘的外表面的一端可拆卸地安装有限位板，所述限位板上开设有转动孔，所述限位板上开设的转动孔与所述固定套上开设的丝杆孔相匹配，通过丝杆将限位板可拆卸地安装于所述固定套靠近所述卡盘的外表面的一端。

8.根据权利要求1-7任一项所述的加工夹具，其特征在于，所述加工夹具还包括设置于所述加工组件上的电机。

9.一种采用权利要求1-8任一项所述的加工夹具的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括：

将所述加工工件套设于所述卡盘的外周，转动所述螺纹杆带动所述牙套运动，从而调控所述卡盘爪对所述卡盘的撑开程度以适应所述加工工件的尺寸，随后对所述加工工件进行加工。

10.一种权利要求1-8任一项所述的加工夹具的用途，其特征在于，所述加工夹具用于制备半导体制造用超高纯钽环。