[发明专利]一种高精度高稳定性超声波传感器螺纹紧固件及制备方法

权利要求书

1.一种高精度高稳定性超声波传感器螺纹紧固件，其特征在于：包括紧固件本体，所述紧固件本体后端设有传感器，紧固件本体前端设有突出部，所述突出部呈弧形。

2.根据权利要求1所述的高精度高稳定性超声波传感器螺纹紧固件，其特征在于：所述紧固件本体包括头部及杆部，所述传感器设于头部，所述突出部设于杆部。

3.根据权利要求2所述的高精度高稳定性超声波传感器螺纹紧固件，其特征在于：所述头部高度为H，所述杆部长度为L，杆部直径为d，突出部的高度为w，其中r为突出部的弧形的半径，且r＝(H+L)/2。

4.根据权利要求1所述的高精度高稳定性超声波传感器螺纹紧固件，其特征在于：所述突出部的粗糙度Rz＝5μm。

5.如权利要求1-4任一所述的高精度高稳定性超声波传感器螺纹紧固件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

在紧固件本体的杆部自由端加工出弧形的突出部。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，还包括以下步骤：

在紧固件本体的头部依次形成压电膜层、保护膜层及电极化层。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于：所述压电膜层的厚度为5-10μm，所述保护膜层的厚度为2-5μm，所述电极化层的厚度为1-2μm。