[发明专利]一种阈值电压为负的开关器件的阈值电压测试方法及系统

权利要求书

1.一种阈值电压为负的开关器件的阈值电压测试方法，其特征在于，包括：

S1、将阈值电压为负的开关器件作为被测试器件；

S2、将被测试器件的栅源之间通过外接电阻R0连接，漏栅端施加偏压V0，量测得到漏源电流与栅源电流的总电流I0；

S3、基于量测得到的总电流I0与栅源间的外接电阻R0计算出栅源电压，或直接量测栅源电压；

S4、对漏源电流与栅源电流的和与栅源电压进行拟合，取指定的漏源电流对应的栅源电压即为阈值电压。

2.根据权利要求1所述的阈值电压为负的开关器件的阈值电压测试方法，其特征在于，所述被测试器件为常开器件，具体为电压驱动开关器件。

3.根据权利要求1所述的阈值电压为负的开关器件的阈值电压测试方法，其特征在于，所述步骤S2中，由于被测试器件为电压驱动开关器件，其栅源漏电流小，当被测试器件工作在半开启状态下漏源电流远大于栅源电流，因此量测得到的总电流约等于漏源电流。

4.根据权利要求1所述的阈值电压为负的开关器件的阈值电压测试方法，其特征在于，所述步骤S3中，根据公式V_gs＝I_ds*R计算栅源电压，其中，V_gs表示栅源电压，I_ds表示漏源电流，R表示电阻，或直接量测栅源电压。

5.根据权利要求4所述的阈值电压为负的开关器件的阈值电压测试方法，其特征在于，所述电阻的选取方法如下：

根据阈值电压所指定的漏源电流I_ds及根据器件设计的典型阈值电压V_th，初步计算出连接的电阻阻值，计算公式为R＝V_th/I_ds；

根据阈值电压所指定的漏源电流I_ds的大一量级及小一量级分别再计算出对应的电阻，并连接到测试电路中。

6.一种阈值电压为负的开关器件的阈值电压测试系统，其特征在于，包括：

量测模块，将被测试器件的栅源之间通过外接电阻R0连接，漏栅端施加偏压V0，量测得到漏源电流与栅源电流的总电流I0；

计算模块，基于量测得到的总电流I0与栅源间的外接电阻R0计算出栅源电压，或直接量测栅源电压；

拟合模块，对量测模块量测得到的漏源电流与栅源电流的和与计算模块得到的栅源电压进行拟合，取指定的漏源电流对应的栅源电压即为阈值电压。

7.根据权利要求6所述的阈值电压为负的开关器件的阈值电压测试系统，其特征在于，所述量测模块由于被测试器件为电压驱动开关器件，其栅源漏电流小，当被测试器件工作在半开启状态下漏源电流远大于栅源电流，因此量测得到的总电流约等于漏源电流。

8.根据权利要求6所述的阈值电压为负的开关器件的阈值电压测试系统，其特征在于，所述计算模块利用公式V_gs＝I_ds*R计算栅源电压，其中，V_gs表示栅源电压，I_ds表示漏源电流，R表示电阻。

9.根据权利要求6所述的阈值电压为负的开关器件的阈值电压测试系统，其特征在于，所述系统还包括电阻选择模块，根据阈值电压所指定的漏源电流I_ds及根据器件设计的典型阈值电压V_th，初步计算出连接的电阻阻值，计算公式为R＝V_th/I_ds；根据阈值电压所指定的漏源电流I_ds的大一量级及小一量级分别再计算出对应的电阻。