[发明专利]一种兼容磁性靶材和非磁性靶材的磁控溅射阴极在审
| 申请号： | 202111108818.1 | 申请日： | 2021-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN113897583A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 汪建;杜寅昌;李成;刘风光;吴鹏;赵巍胜 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院） |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/34 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 苗娟 |
| 地址： | 230013 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 兼容 磁性 磁控溅射 阴极 | ||
1.一种兼容磁性靶材和非磁性靶材的磁控溅射阴极，包括靶材(1)、磁体(2)、磁轭(3)及靶座(4)，其特征在于：还包括运动机构(5)；
磁体(2)选用强磁场磁体以适应磁性靶材，磁体(2)安装在磁轭(3)上，位于靶座(4)下方；靶材(1)安装在靶座(5)上方；
当靶材(1)为磁性靶材时，通过运动机构(5)调整靶材和磁体(2)的间距，使之靠近；
当靶材(2)为非磁性靶材时，通过运动机构(5)调整靶材和磁体(2)的间距，使之远离。
2.根据权利要求1所述的兼容磁性靶材和非磁性靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：所述磁体为圆柱状、条形、正方形或者不规则形状。
3.根据权利要求2所述的兼容磁性靶材和非磁性靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：所述磁体为永磁体或者电磁体。
4.根据权利要求1所述的兼容磁性靶材和非磁性靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：
所述运动机构包括内旋转驱动轴(A)、阴极支撑外筒(B)、转接法兰(C)，上波纹管(D)、直线驱动机构(E)、下波纹管(F)、接口安装法兰(G)；
磁轭(3)安装在内旋转驱动轴(A)上，靶座(4)通过螺栓固定在阴极支撑外筒(B)上，阴极支撑外筒(B)与转接法兰(C)焊接固定，同时转接法兰(C)连接上波纹管(D)、下波纹管(F)及直线驱动机构(E)，下波纹管(F)另一端与接口安装法兰(G)连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院），未经北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
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