[发明专利]用于拾取晶圆的机械手

权利要求书

1.一种用于拾取晶圆的机械手，其特征在于，包括：

机械手臂，包括凹设于所述机械手臂的正面的至少一个凹槽；以及

至少一个吸盘装置，所述至少一个吸盘装置设置在所述机械手臂上，每个所述吸盘装置包括：

第一吸盘；

弹性支撑体，所述弹性支撑体的至少部分位于所述第一吸盘和所述机械手臂之间，所述弹性支撑体包括第一端和第二端，相比于所述弹性支撑体的第二端，所述弹性支撑体的第一端更靠近所述机械手臂，所述弹性支撑体的第二端与所述第一吸盘连接，所述弹性支撑体被配置为支撑所述第一吸盘；

柔性套，所述柔性套的至少部分位于所述第一吸盘和所述机械手臂之间，且所述柔性套与所述第一吸盘密封连接；以及

第二吸盘，所述第二吸盘的至少部分位于所述凹槽中，所述第二吸盘与所述柔性套密封连接，所述柔性套、所述第一吸盘以及所述第二吸盘围成中空腔体。

2.根据权利要求1所述的机械手，其中，所述第一吸盘包括背离所述机械手臂的吸附面和连通至所述吸附面外侧的第一开口，

所述第一开口与所述中空腔体连通。

3.根据权利要求1所述的机械手，其中，所述弹性支撑体位于所述中空腔体中。

4.根据权利要求1所述的机械手，其中，所述弹性支撑体包括弹簧，所述弹簧位于所述第一吸盘和所述第二吸盘之间。

5.根据权利要求2所述的机械手，其中，所述第一吸盘的吸附面的硬度大于所述柔性套的硬度。

6.根据权利要求2所述的机械手，其中，所述机械手臂包括真空管路；以及

其中，所述第一开口经由所述中空腔体与所述真空管路连通。

7.根据权利要求6所述的机械手，其中，所述机械手臂还包括至少一个吸附口；

所述吸附面凸出于所述凹槽；

所述至少一个吸附口分别位于所述至少一个凹槽的内表面并与所述真空管路连通。

8.根据权利要求7所述的机械手，其中，所述弹性支撑体不完全覆盖所述第一开口以及所述吸附口，以使所述第一开口通过所述吸附口而与所述真空管路连通。

9.根据权利要求7所述的机械手，其中，所述第二吸盘具有第二开口，所述弹性支撑体的正投影不完全覆盖所述第二开口，且所述第二开口与所述吸附口连通。

10.根据权利要求6所述的机械手，其中，所述凹槽被实施为与所述真空管路连通的开孔；

其中，所述第二吸盘的至少部分固定设置或者可拆卸设置在所述开孔。

11.根据权利要求1所述的机械手，其中，所述吸盘装置还包括：

压力传感器，设置于所述弹性支撑体与所述第二吸盘之间，用于测量所述弹性支撑体传递的压力。

12.根据权利要求1-10中任一项所述的机械手，其中，所述机械手包括至少三个所述吸盘装置。

13.根据权利要求12所述的机械手，其中，所述吸盘装置还包括：

压力传感器，设置于所述弹性支撑体与所述第二吸盘之间，用于测量所述弹性支撑体传递的压力；

所述机械手还包括：

处理器，与所述压力传感器信号连接，被配置为：响应于所述至少三个吸盘装置的压力传感器发出的压力信号中任意两个压力信号之间的差值超过第一阈值，发出报警信号。

14.根据权利要求12所述的机械手，其中，所述吸盘装置还包括：

压力传感器，设置于所述弹性支撑体与所述第二吸盘之间，用于测量所述弹性支撑体传递的压力；

所述机械手还包括：

真空传感器，用于测量真空管路的真空度；以及

处理器，分别与所述压力传感器和所述真空传感器信号连接，被配置为：响应于所述真空度低于第二阈值且接收到所述至少三个压力传感器发出的超过第三阈值的压力信号，发出报警信号。