[发明专利]测试探针、测试探针模块及测试装置

说明书

本发明涉及一种测试探针，包括头部，其包括至少两个能够张开或闭合的针瓣；尾部形成该测试探针的主体；以及过渡部，其包括两端，其中一端连接头部，另一端连接尾部，且连接头部一端的横向尺寸大于连接尾部一端的横向尺寸，以使过渡部的外壁具有从头部向尾部收缩的斜面；当挤压件沿斜面从尾部向头部移动时，过渡部受到挤压力带动该至少两个针瓣闭合，以使闭合的头部能够进入载具板上的金属化通孔内，并在撤掉挤压力时，至少两个针瓣自然扩张从而抵触于载具板上的金属化通孔的内壁上。本发明能够避免因探针数量增多而导致载具板或测试探针模块的接触面容易变形翘曲出现接触不良的问题，省去了安装机构力学刚性度的预算。

技术领域

本发明涉及集成电路测试技术领域，尤其是指一种测试探针、测试探针模块及测试装置。

背景技术

集成电路自动测试机通常采用弹簧针盘来连接被测电路的载具板。弹簧针盘上由多个弹簧探针模块组成，每个弹簧探针模块上的每一个弹簧探针负责一根测试信号的连接。当测试机台连接载具板时，测试机台的弹簧探针要接触到载具板上对位的触点，并且要形成一定的压迫，使得每个弹簧探针均被有效压缩，以确保可靠的电导通。在典型的应用场景下，当弹簧探针被压缩1mm~2mm时，其产生的弹力为50g~200g。对于1000针的测试机台，会有至少50kg的压力，因此弹簧针盘和载具板需要有相应的强度和刚性，以避免压力造成的形变影响到弹簧探针的接触。

当自动测试机的测试信号密度很大时，传统的弹簧针盘的连接方式就会遇到压力过大的困难。例如市场上已经出现10000针以上的测试机台，如果仍然采用上述常规的弹簧探针连接方式，就会导致总体压力超过500kg，超过了载具板及其加强筋的刚性限度，使载具板或测试机弹簧针盘的接触面容易变形翘曲，从而出现接触不良的问题，甚至超过卡扣的力学极限导致无法安装。而且由于弹簧探针是纵向伸缩的，在连接状态下，弹簧探针持续处于压缩状态，压力是持续存在的，因此安装机构必须保证持续的克服这种压力，这就进一步增加了安装机构的力学刚性度的预算。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中的不足，提供一种利用头部的横向压力使得头部与金属化通孔的内壁充分接触，以保证良好的电导通，避免因探针数量增多而导致载具板或测试探针模块的接触面容易变形翘曲出现接触不良的测试探针、测试探针模块及测试装置。

为解决上述技术问题，本发明提供一种测试探针，其用于与载具板上的每个对位触点接触，其中对位触点为金属化通孔，所述测试探针包括：

头部，其包括至少两个能够张开或闭合的针瓣，所述针瓣于张开状态下围成的区域具有第一面积，所述针瓣于闭合状态下围成的区域具有第二面积，且所述第一面积大于所述金属化通孔的孔内面积，所述第二面积小于所述金属化通孔的孔内面积，在自然状态下，至少两个针瓣处于张开状态；

尾部，形成该测试探针的主体；以及

过渡部，其包括两端，其中一端连接所述头部，另一端连接所述尾部，且连接所述头部一端的横向尺寸大于连接所述尾部一端的横向尺寸，以使所述过渡部的外壁具有从所述头部向所述尾部收缩的斜面；

当一外部挤压件沿所述斜面从所述尾部向所述头部移动时，所述过渡部受到挤压力带动该至少两个针瓣闭合，以使闭合的头部能够进入所述载具板上的金属化通孔内，并在撤掉所述挤压力时，所述至少两个针瓣自然扩张从而抵触于所述载具板上的金属化通孔的内壁上。

在本发明的一个实施例中，至少两个针瓣两两之间设置有隔离槽，隔离槽的槽深从所述头部延伸至所述过渡部。

在本发明的一个实施例中，所述隔离槽的槽深从所述头部穿过所述过渡部并延伸至所述尾部。

在本发明的一个实施例中，所述头部的针瓣的数量为两个，该两个针瓣之间的隔离槽为一字槽。

在本发明的一个实施例中，所述头部的针瓣的数量为三个，该三个针瓣之间的隔离槽为人字槽。