[发明专利]测试探针、测试探针模块及测试装置有效

专利信息
申请号: 202111031094.5 申请日: 2021-09-03
公开(公告)号: CN113466504B 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 魏津;胡雪原;徐润生 申请(专利权)人: 绅克半导体科技(苏州)有限公司
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 李柏柏
地址: 215000 江苏省苏州市高新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 测试 探针 模块 装置
【权利要求书】:

1.一种测试探针,其用于与载具板上的每个对位触点接触,其中对位触点为金属化通孔,其特征在于,所述测试探针包括:

头部,其包括至少两个能够张开或闭合的针瓣,所述针瓣于张开状态下围成的区域具有第一面积,所述针瓣于闭合状态下围成的区域具有第二面积,且所述第一面积大于所述金属化通孔的孔内面积,所述第二面积小于所述金属化通孔的孔内面积,在自然状态下,至少两个针瓣处于张开状态;

尾部,形成该测试探针的主体;以及

过渡部,其包括两端,其中一端连接所述头部,另一端连接所述尾部,且连接所述头部一端的横向尺寸大于连接所述尾部一端的横向尺寸,以使所述过渡部的外壁具有从所述头部向所述尾部收缩的斜面;

当一外部挤压件沿所述斜面从所述尾部向所述头部移动时,所述过渡部受到挤压力带动该至少两个针瓣闭合,以使闭合的头部能够进入所述载具板上的金属化通孔内,并在撤掉所述挤压力时,所述至少两个针瓣自然扩张从而抵触于所述载具板上的金属化通孔的内壁上。

2.根据权利要求1所述的测试探针,其特征在于:至少两个针瓣两两之间设置有隔离槽,隔离槽的槽深从所述头部延伸至所述过渡部。

3.根据权利要求2所述的测试探针,其特征在于:所述隔离槽的槽深从所述头部穿过所述过渡部并延伸至所述尾部。

4.根据权利要求3所述的测试探针,其特征在于:所述头部的针瓣的数量为两个,该两个针瓣之间的隔离槽为一字槽。

5.根据权利要求3所述的测试探针,其特征在于:所述头部的针瓣的数量为三个,该三个针瓣之间的隔离槽为人字槽。

6.根据权利要求3所述的测试探针,其特征在于:所述头部的针瓣的数量为四个,该四个针瓣之间的隔离槽为十字槽。

7.根据权利要求3所述的测试探针,其特征在于:所述头部的针瓣的数量为五个,该五个针瓣之间的隔离槽为*字槽。

8.根据权利要求3所述的测试探针,其特征在于:所述头部的针瓣的数量为六个,该六个针瓣之间的隔离槽为*字槽。

9.根据权利要求1所述的测试探针,其特征在于:所述头部远离所述过渡部的一端设置有倒角。

10.一种测试探针模块,其上的探针阵列用于与载具板上的对位触点接触,其中对位触点为金属化通孔,其特征在于,包括:

探针阵列,其包括至少两个如权利要求1所述的测试探针;

针孔套件,其包括活动板和挤压件,所述活动板包括能够容置所述测试探针于其内运动的第一通孔,所述第一通孔的内侧壁设置有与所述测试探针的过渡部上的斜面相配合的挤压件,所述挤压件能够在所述斜面上移动;

顶针,其用于推顶所述活动板,以使所述活动板相对所述测试探针产生位移,当所述挤压件沿所述斜面从尾部向头部移动时,所述过渡部受到挤压力带动该至少两个针瓣闭合,以使闭合的头部能够进入所述载具板上的金属化通孔内,并在撤掉所述挤压力时,所述至少两个针瓣自然扩张从而抵触于所述载具板上的金属化通孔的内壁上。

11.根据权利要求10所述的测试探针模块,其特征在于:所述针孔套件还包括固定板,所述固定板包括能够容置所述测试探针于其内的第二通孔,所述第二通孔的中心与所述第一通孔的中心对准。

12.根据权利要求11所述的测试探针模块,其特征在于:所述固定板和所述活动板均采用绝缘材料,其中所述活动板采用耐磨绝缘材料。

13.根据权利要求10所述的测试探针模块,其特征在于:所述针孔套件还包括定位销,所述定位销设置在所述活动板上。

14.一种测试装置,其特征在于,包括测试机台以及如权利要求10-13任一项所述的测试探针模块,所述测试探针模块组装在所述测试机台上。

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